Плазменная активация поверхности для склеивания пластин и производства МЭМС-устройств
Плазменная активация поверхности обеспечивает прочное, бездефектное соединение пластин при температурах ниже 400 °C за счет модификации химического состава поверхности на молекулярном уровне, что делает этот процесс важнейшим для изготовления МЭМС-устройств и 3D-гетерогенной интеграции. Почему традиционные методы соединения неэффективны? МЭМС-устройства становятся меньше, сложнее и используют более разнообразные материалы. Соединение кремния со стеклом, полимеров с […]
