تنشيط سطح البلازما لربط الرقائق وتصنيع الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة (MEMS)
يُمكّن تنشيط سطح البلازما من ربط الرقائق بقوة ودون فراغات عند درجات حرارة أقل من 400 درجة مئوية، وذلك بتعديل التركيب الكيميائي للسطح على المستوى الجزيئي، مما يجعله العملية الأساسية لتصنيع الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة (MEMS) والتكامل ثلاثي الأبعاد غير المتجانس. لماذا تعجز طرق الربط التقليدية؟ أصبحت أجهزة MEMS أصغر حجمًا وأكثر تعقيدًا وتنوعًا في المواد. ربط السيليكون بالزجاج، والبوليمرات بـ...
