GaN ve Ga₂O₃ Cihazları için Plazma Yüzey Temizliği: Temas Güvenilirliğini ve Termal Kararlılığı Artırma
Yarı iletken yüzeylerin plazma ile temizlenmesi, GaN ve Ga₂O₃'ten doğal oksitleri, karbon kirliliğini ve serbest bağları düşük sıcaklıklarda uzaklaştırarak, geleneksel işlemlerin neden olduğu termal hasar olmadan ohmik temas direncini ve cihaz güvenilirliğini artırır. Yüzey Hazırlığı Neden Kimsenin Bahsetmediği Bir Darboğaz? GaN ve Ga₂O₃ haklı nedenlerle çok fazla ilgi görüyor. […]
