تنظيف أسطح البلازما لأجهزة GaN و Ga₂O₃: تعزيز موثوقية التلامس والاستقرار الحراري
تُزيل عملية تنظيف أسطح أشباه الموصلات بالبلازما الأكاسيد الطبيعية، وتلوث الكربون، والروابط غير المشبعة من نيتريد الغاليوم (GaN) وأكسيد الغاليوم الثلاثي (Ga₂O₃) عند درجات حرارة منخفضة، مما يُحسّن مقاومة التلامس الأومي وموثوقية الجهاز دون التلف الحراري الذي تُسببه عمليات المعالجة التقليدية. لماذا تُعدّ معالجة الأسطح هي العائق الرئيسي الذي لا يتحدث عنه أحد؟ يحظى نيتريد الغاليوم (GaN) وأكسيد الغاليوم الثلاثي (Ga₂O₃) باهتمام كبير لأسباب وجيهة. […]
