لماذا يُعدّ تنظيف البلازما ضروريًا في التغليف المتقدم للدوائر المتكاملة ثنائية الأبعاد ونصف وثلاثية الأبعاد
تُزيل عملية تنظيف التغليف بالبلازما التلوث المجهري الذي قد يُسبب أعطالًا في أشباه الموصلات. في تغليف الدوائر المتكاملة ثنائية الأبعاد ونصف وثلاثية الأبعاد، حتى البقايا الصغيرة قد تُضعف التوصيلات الكهربائية أو تُقلل من قوة الربط. يُستخدم معالجة البلازما في خطوات أساسية من عملية التغليف، بما في ذلك تحضير السطح قبل الربط والتغليف. تشرح هذه المقالة كيفية عمل معالجة سطح البلازما […]
