| 1. Hohe Leistung in einem kompakten Design | Der 1000-W-Plasmagenerator liefert eine starke und stabile Plasmaleistung und ermöglicht so eine effektive Oberflächenaktivierung und -reinigung auf kleinem Raum. |
|---|---|
| 2. Gleichmäßige Plasmaverteilung | Die zylindrische Kammerkonstruktion fördert eine gleichmäßige Plasmadichte und gewährleistet so konsistente Behandlungsergebnisse über den gesamten Arbeitsbereich. |
| 3. Zuverlässiges und intuitives Steuerungssystem | Das MCGS-Display mit Siemens-Technologie ermöglicht eine präzise Parametereinstellung, Rezeptspeicherung und benutzerfreundliche Bedienung für wiederholbare Verarbeitungsprozesse. |
| 4. Flexible Prozessfähigkeit | Ausgestattet mit zwei standardmäßigen MFCs (Ar und O₂) und einer anpassbaren Arbeitsschale ermöglicht das System eine präzise Gaskontrolle und eine flexible Vorrichtungskonfiguration für verschiedene Komponententypen. |
Das Tischgerät VL-5-A mit 5 Litern Vakuum-Plasma-Behandlungskapazität zeichnet sich durch eine zylindrische Kammer aus, die für eine gleichmäßige Plasmaverteilung und effiziente Kleinserienbearbeitung optimiert ist. Ausgestattet mit einem leistungsstarken 1000-W-Plasmagenerator liefert es trotz seiner kompakten Bauweise eine starke und stabile Oberflächenaktivierung, Reinigung und Beschichtung. Das System verfügt über ein MCGS-Display auf Siemens-Basis, das eine intuitive Bedienung, präzise Parametersteuerung und zuverlässiges Prozessmanagement ermöglicht. Zur Standardausstattung gehören zwei MFCs (Ar und O₂) für eine genaue Gasflussregelung sowie ein individuell anpassbarer Arbeitstisch für verschiedene Bauteilgrößen und Anwendungen.
| Plasma-Haupteinheit | Abmessungen (L*B*H) | 600 x 540 x 480 mm |
| Kammer zylindrisch (L*ø) (anpassbar) | 280 x 150 mm | |
| Gewicht ohne Pumpe | 60 kg | |
| Plasma-Stromversorgung | Plasma-Stromversorgung | 40 kHz |
| Nennleistung | 1000 W | |
| Kontrollsystem | Steuerungsmethode (SPS) | MCGS – TPC4013EI |
| Anzeige | 4,3″ Touchscreen | |
| Anzeigekammerdruck | LED | |
| Vakuumsystem | Kammermaterial | Edelstahl |
| Kammerleckrate | > 15 Pa/s | |
| Ultimativer Staubsauger | < 5 Pa/s | |
| Prozessschichten (anpassbar) | 1 Stück (Drahtgeflecht) | |
| Entlüftungszeit | ≤ 15s | |
| Pumpabschaltzeit | ≤ 60er Jahre | |
| Vakuumpumpe | 8 m³/h | |
| Pumpentyp | Ölgedichtete Pumpe oder Trockenpumpe (optional) | |
| Gassystem | Prozessgas-Durchflussbereich | 0-200 SCCM |
| Prozessgasleitungen | 2-Kanal-Durchflussmesser | |
| Anforderungen an die Einrichtung | Geräte-Stromversorgung | AC220 ( ±10%) |
| Gerätegasquelle (Luftzufuhr) | ≥ 0,4 MPa | |
| Geräteleistung | 2,6 kW | |
| Betriebsumgebung | 0 °C – 50 °C |
Schicken Sie uns eine Nachricht!
Unsere Systemexperten helfen Ihnen gerne weiter.
Unsere Systemexperten helfen Ihnen gerne weiter.
