| 1. Kompaktes und platzsparendes Design | Die Tischkonfiguration ist ideal für Labore und F&E-Umgebungen, in denen der Platz begrenzt ist, und bietet dennoch eine professionelle Plasmabehandlungsleistung. |
|---|---|
| 2. Präzise und kontrollierte Verarbeitung | Die 300-W-Plasmaleistung sorgt für eine stabile und schonende Plasmaentladung und eignet sich daher für kleine, empfindliche oder hochwertige Bauteile. |
| 3. Präzises Gasflussmanagement | Ausgestattet mit zwei standardmäßigen MFCs (Ar und O₂), gewährleistet das System eine präzise Gasmischung und eine gleichbleibende Prozesswiederholbarkeit für zuverlässige Ergebnisse bei der Oberflächenmodifizierung. |
| 4. Flexible Probenhandhabung | Die 3 standardmäßigen Arbeitsschalen, die an spezifische Teilegeometrien anpassbar sind, ermöglichen eine effiziente Organisation der Proben und eine verbesserte Behandlungsgleichmäßigkeit über verschiedene Anwendungen hinweg. |
Das Tischgerät VL-10-A mit 10 Litern Volumen ist eine kompakte und platzsparende Lösung für Laborforschung, Prototypenbau und Kleinserienfertigung. Ausgestattet mit einem stabilen 300-W-Plasmagenerator ermöglicht es die präzise und gleichmäßige Oberflächenreinigung und -aktivierung empfindlicher oder kleiner Bauteile. Die Siemens-SPS-Steuerung gewährleistet zuverlässigen Betrieb, einfache Parametereinstellung und reproduzierbare Prozessführung. Zur Standardausstattung gehören zwei MFCs (Ar und O₂) für die präzise Gaskontrolle sowie drei individuell anpassbare Arbeitsschalen für unterschiedliche Probengrößen und Anwendungsanforderungen.
| Plasma-Haupteinheit | Abmessungen (L*B*H) | 700 x 720 x 680 mm |
| Kammer (L*B*H) (anpassbar) | 270 x 280 x 180 mm | |
| Gewicht ohne Pumpe | 170 kg | |
| Plasma-Stromversorgung | Plasma-Stromversorgung | 13,56 MHz / 40 kHz (opt.) |
| Nennleistung | 300 W | |
| Kontrollsystem | Steuerungsmethode (SPS) | Siemens – SIMATIC HMI Smart 700 IE V5 |
| Anzeige | 7-Zoll-Touchscreen | |
| Vakuumsystem | Kammermaterial | Edelstahl |
| Kammerleckrate | > 15 Pa/s | |
| Ultimativer Staubsauger | < 5 Pa/s | |
| Prozessschichten (anpassbar) | 3 Stück (Drahtgeflecht) | |
| Entlüftungszeit | ≤ 15s | |
| Pumpabschaltzeit | 20er bis 40er Jahre | |
| Vakuumpumpe | 24 m³/h | |
| Pumpentyp | Ölgedichtete Pumpe oder Trockenpumpe (optional) | |
| Gassystem | Prozessgas-Durchflussbereich | 0-300 SCCM |
| Prozessgasleitungen | Standard (Ar/O2) mit 2 MFCs | |
| Anforderungen an die Einrichtung | Geräte-Stromversorgung | AC220 ( ±10%) |
| Gerätegasquelle (Luftzufuhr) | ≥ 0,4 MPa | |
| Geräteleistung | 1,8 kW | |
| Betriebsumgebung | 0 °C – 50 °C |
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