| 1. Thiết kế nhỏ gọn và tiết kiệm không gian | Cấu hình để bàn lý tưởng cho các phòng thí nghiệm và môi trường nghiên cứu & phát triển có không gian hạn chế, đồng thời vẫn mang lại hiệu suất xử lý plasma chuyên nghiệp. |
|---|---|
| 2. Quy trình xử lý chính xác và được kiểm soát | Công suất plasma 300W cung cấp khả năng phóng điện plasma ổn định và nhẹ nhàng, thích hợp cho các linh kiện nhỏ, nhạy cảm hoặc có giá trị cao. |
| 3. Quản lý lưu lượng khí chính xác | Được trang bị 2 bộ điều khiển MFC tiêu chuẩn (Ar và O₂), hệ thống đảm bảo sự trộn khí chính xác và tính lặp lại nhất quán của quy trình để mang lại kết quả biến đổi bề mặt đáng tin cậy. |
| 4. Xử lý mẫu linh hoạt | Ba khay làm việc tiêu chuẩn, có thể tùy chỉnh theo hình dạng cụ thể của từng chi tiết, cho phép sắp xếp mẫu hiệu quả và cải thiện tính đồng nhất của quá trình xử lý trong các ứng dụng khác nhau. |
Hệ thống xử lý plasma chân không để bàn VL-10-A dung tích 10 lít là một giải pháp nhỏ gọn và tiết kiệm không gian, được thiết kế cho nghiên cứu trong phòng thí nghiệm, tạo mẫu thử nghiệm và sản xuất theo lô nhỏ. Được trang bị máy phát plasma 300W ổn định, hệ thống cung cấp khả năng làm sạch và kích hoạt bề mặt chính xác và đồng đều cho các linh kiện nhỏ hoặc dễ vỡ. Hệ thống điều khiển PLC của Siemens đảm bảo hoạt động đáng tin cậy, dễ dàng điều chỉnh thông số và quản lý quy trình lặp lại. Cấu hình tiêu chuẩn bao gồm 2 bộ điều khiển MFC (Ar và O₂) để kiểm soát khí chính xác, cùng với 3 khay làm việc có thể tùy chỉnh để phù hợp với các kích thước mẫu và nhu cầu ứng dụng khác nhau.
| Đơn vị chính Plasma | Kích thước (Dài*Rộng*Cao) | 700*720*680mm |
| Buồng (Dài*Rộng*Cao) (có thể tùy chỉnh) | 270*280*180mm | |
| Trọng lượng (không bao gồm bơm) | 170 kg | |
| Nguồn điện Plasma | Nguồn điện Plasma | 13,56MHz / 40kHz (tùy chọn) |
| Công suất định mức | 300W | |
| Hệ thống điều khiển | Phương pháp điều khiển (PLC) | Siemens – SIMATIC HMI Smart 700 IE V5 |
| Trưng bày | Màn hình cảm ứng 7 inch | |
| Hệ thống chân không | Vật liệu buồng | Thép không gỉ |
| Tốc độ rò rỉ buồng | > 15Pa/s | |
| Máy hút bụi tối thượng | < 5Pa/s | |
| Các lớp quy trình (có thể tùy chỉnh) | 3 cái (Lưới thép) | |
| Thời gian xả stress | ≤ 15 giây | |
| Thời gian bơm xả | 20 đến 40 tuổi | |
| Máy bơm chân không | 24 m³/h | |
| Loại bơm | Bơm kín dầu hoặc bơm khô (tùy chọn) | |
| Hệ thống khí | Phạm vi lưu lượng khí quy trình | 0-300SCCM |
| Đường ống dẫn khí công nghiệp | Tiêu chuẩn (Ar/O2) với 2 MFC | |
| Yêu cầu về cơ sở vật chất | Nguồn cấp điện cho thiết bị | AC220 ( ±10%) |
| Nguồn khí cung cấp cho thiết bị (Nguồn cung cấp không khí) | ≥ 0,4 MPa | |
| Nguồn điện thiết bị | 1,8kW | |
| Môi trường hoạt động | 0°C – 50°C |
Gửi tin nhắn cho chúng tôi!
Các chuyên gia hệ thống của chúng tôi rất vui lòng được hỗ trợ bạn.
Các chuyên gia hệ thống của chúng tôi rất vui lòng được hỗ trợ bạn.
