Sản phẩm & Dịch vụ

VL-60-A

Thông tin bổ sung

1. Công suất plasma được kiểm soát và nhẹ nhàng	Công suất plasma 500W cung cấp khả năng xử lý ổn định và đồng đều, lý tưởng cho các linh kiện nhạy cảm và việc sửa đổi bề mặt chính xác.
2. Khả năng trộn khí chính xác	Với 2 bộ điều khiển lưu lượng vi mô (MFC) tiêu chuẩn (Ar và O₂) và khả năng mở rộng tùy chọn lên 3 MFC, hệ thống cho phép kiểm soát lưu lượng khí chính xác và phát triển quy trình linh hoạt.
3. Hệ thống điều khiển PLC Siemens đáng tin cậy	Hệ thống PLC tích hợp của Siemens đảm bảo tính nhất quán trong việc lặp lại quy trình, dễ dàng lưu trữ công thức và vận hành thân thiện với người dùng cho cả môi trường nghiên cứu và phát triển cũng như sản xuất.
4. Thiết kế nhỏ gọn với diện tích chiếm dụng hiệu quả	Buồng chứa dung tích 60 lít cung cấp đủ công suất cho quá trình xử lý theo lô nhỏ đến trung bình, đồng thời tiết kiệm không gian khi lắp đặt trong phòng thí nghiệm hoặc dây chuyền sản xuất công nghiệp.

Tổng quan

Hệ thống xử lý plasma chân không VL-60-A 60 lít là một giải pháp nhỏ gọn và đa năng được thiết kế cho các ứng dụng làm sạch, kích hoạt và biến đổi bề mặt chính xác. Được cung cấp năng lượng bởi máy phát plasma 500W ổn định, hệ thống này cung cấp khả năng xử lý plasma đồng đều và được kiểm soát, phù hợp với các linh kiện mỏng manh và có giá trị cao. Hệ thống tích hợp nền tảng điều khiển PLC của Siemens giúp vận hành đáng tin cậy, thiết lập thông số trực quan và quản lý quy trình lặp lại. Được trang bị hai bộ điều khiển khí (MFC) tiêu chuẩn (Ar và O₂) và có thể tùy chỉnh lên đến ba MFC, hệ thống này cung cấp cấu hình khí linh hoạt để đáp ứng các yêu cầu quy trình đa dạng.

Thông số kỹ thuật

Đơn vị chính Plasma	Kích thước (DàiRộngCao)	9307651750mm
Đơn vị chính Plasma	Buồng (DàiRộngCao) (có thể tùy chỉnh)	400400410mm
Nguồn điện Plasma	Nguồn điện Plasma	13,56MHz / 40kHz (tùy chọn)
Nguồn điện Plasma	Công suất định mức	500W
Hệ thống điều khiển	Phương pháp điều khiển (PLC)	Siemens – SIMATIC HMI Smart 700 IE V5
Hệ thống điều khiển	Trưng bày	Màn hình cảm ứng 7 inch
Hệ thống chân không	Vật liệu buồng	Hợp kim nhôm
	Tốc độ rò rỉ buồng	> 15Pa/s
	Máy hút bụi tối thượng	< 5Pa/s
	Các lớp quy trình (có thể tùy chỉnh)	6 cái (Lưới thép)
	Thời gian xả stress	≤ 8 giây
	Thời gian bơm xả	≤ 50 giây
	Máy bơm chân không	60 m³/h
	Loại bơm	Bơm kín dầu hoặc bơm khô (tùy chọn)
Hệ thống khí	Phạm vi lưu lượng khí quy trình	0-300SCCM
Hệ thống khí	Đường ống dẫn khí công nghiệp	Tiêu chuẩn (Ar/O₂) với 2 MFC Tùy chọn (N₂/H₂/He) với 3 MFC
Yêu cầu về cơ sở vật chất	Nguồn cấp điện cho thiết bị	380V 50Hz, 5 dây
	Nguồn khí cung cấp cho thiết bị (Nguồn cung cấp không khí)	≥ 0,4 MPa
	Nguồn điện thiết bị	4,5kW
	Môi trường hoạt động	0°C – 50°C

VL-60-A

Thông tin bổ sung

Thông số kỹ thuật

Ứng dụng

Sản phẩm liên quan

Danh mục sản phẩm