| 1. Khả năng xử lý dữ liệu tốc độ cao | Khoang chứa 100 lít kết hợp với 6 khay làm việc tiêu chuẩn cho phép xử lý theo lô hiệu quả và nâng cao năng suất cho sản lượng từ trung bình đến lớn. |
|---|---|
| 2. Hiệu suất plasma mạnh mẽ và đồng đều | Máy phát plasma 1000W đảm bảo quá trình phóng điện ổn định và kết quả xử lý bề mặt nhất quán, ngay cả đối với các hình dạng phức tạp và khay chứa nhiều vật phẩm. |
| 3. Điều khiển quy trình khí linh hoạt | Hai bộ điều khiển MFC tiêu chuẩn (Ar và O₂) với tùy chọn mở rộng lên ba bộ điều khiển MFC cho phép trộn khí chính xác và tùy chỉnh quy trình nâng cao cho các ứng dụng vật liệu đa dạng. |
| 4. Tự động hóa công nghiệp đáng tin cậy | Hệ thống PLC của Siemens cung cấp khả năng điều khiển thông số chính xác, lưu trữ công thức, truy xuất nguồn gốc quy trình và dễ dàng tích hợp vào các dây chuyền sản xuất tự động. |
Hệ thống xử lý plasma chân không 100 lít VL-100-A được thiết kế cho các quy trình làm sạch bề mặt, kích hoạt và phủ chức năng hiệu quả cao trong cả môi trường nghiên cứu và phát triển cũng như sản xuất công nghiệp. Được trang bị máy phát plasma mạnh mẽ 1000W, hệ thống cung cấp sự phân bố plasma ổn định và đồng đều để đạt được kết quả xử lý nhất quán trên các lô hàng lớn. Hệ thống điều khiển PLC của Siemens đảm bảo quản lý thông số chính xác, lưu trữ công thức và khả năng lặp lại quy trình đáng tin cậy. Cấu hình tiêu chuẩn bao gồm 2 MFC (Ar và O₂), có thể mở rộng lên 3 MFC để kết hợp khí linh hoạt, cùng với 6 khay làm việc tiêu chuẩn có thể được tùy chỉnh để phù hợp với các kích thước chi tiết và yêu cầu sản xuất khác nhau.
| Đơn vị chính Plasma | Kích thước (Dài*Rộng*Cao) | 930*765*1750mm |
| Buồng (Dài*Rộng*Cao) (có thể tùy chỉnh) | 515*400*510mm | |
| Nguồn điện Plasma | Nguồn điện Plasma | 13,56MHz / 40kHz (tùy chọn) |
| Công suất định mức | 1000W | |
| Hệ thống điều khiển | Phương pháp điều khiển (PLC) | Siemens – SIMATIC HMI Smart 700 IE V5 |
| Trưng bày | Màn hình cảm ứng 7 inch | |
| Hệ thống chân không | Vật liệu buồng | Hợp kim nhôm |
| Tốc độ rò rỉ buồng | > 15Pa/s | |
| Máy hút bụi tối thượng | < 5Pa/s | |
| Các lớp quy trình (có thể tùy chỉnh) | 6 cái (Lưới thép) | |
| Thời gian xả stress | ≤ 10 giây | |
| Thời gian bơm xả | ≤ 80 giây | |
| Máy bơm chân không | 60 m³/h | |
| Loại bơm | Bơm kín dầu hoặc bơm khô (tùy chọn) | |
| Hệ thống khí | Phạm vi lưu lượng khí quy trình | 0-300SCCM |
| Đường ống dẫn khí công nghiệp | Tiêu chuẩn (Ar/O₂) với 2 MFC Tùy chọn (N₂/H₂/He) với 3 MFC | |
| Yêu cầu về cơ sở vật chất | Nguồn cấp điện cho thiết bị | 380V 50Hz, 5 dây |
| Nguồn khí cung cấp cho thiết bị (Nguồn cung cấp không khí) | ≥ 0,4 MPa | |
| Nguồn điện thiết bị | 4,5kW | |
| Môi trường hoạt động | 0°C – 50°C |
Gửi tin nhắn cho chúng tôi!
Các chuyên gia hệ thống của chúng tôi rất vui lòng được hỗ trợ bạn.
Các chuyên gia hệ thống của chúng tôi rất vui lòng được hỗ trợ bạn.
