| 1. Hohe Durchsatzkapazität | Die 100-Liter-Kammer in Kombination mit 6 Standard-Arbeitsschalen ermöglicht eine effiziente Chargenverarbeitung und verbesserte Produktivität bei mittleren bis großen Produktionsmengen. |
|---|---|
| 2. Leistungsstarke und gleichmäßige Plasmaleistung | Der 1000-W-Plasmagenerator gewährleistet eine stabile Entladung und gleichbleibende Ergebnisse bei der Oberflächenbehandlung, selbst bei komplexen Geometrien und dicht beladenen Trägern. |
| 3. Flexible Gasprozesssteuerung | Standardmäßig sind 2 MFCs (Ar und O₂) mit optionaler Erweiterung auf 3 MFCs vorhanden, die eine präzise Gasmischung und eine fortschrittliche Prozessanpassung für diverse Materialanwendungen ermöglichen. |
| 4. Zuverlässige industrielle Automatisierung | Das Siemens SPS-System bietet präzise Parametersteuerung, Rezeptspeicherung, Prozessrückverfolgbarkeit und einfache Integration in automatisierte Fertigungslinien. |
Das 100-Liter-Vakuum-Plasma-Behandlungssystem VL-100-A ist für hocheffiziente Oberflächenreinigung, Aktivierung und funktionelle Beschichtungsprozesse in Forschung und Entwicklung sowie in der industriellen Produktion konzipiert. Ausgestattet mit einem leistungsstarken 1000-W-Plasmagenerator liefert es eine stabile und gleichmäßige Plasmaverteilung für konsistente Behandlungsergebnisse auch bei größeren Chargen. Die Siemens-SPS-Steuerung gewährleistet präzises Parametermanagement, Rezepturspeicherung und zuverlässige Prozessreproduzierbarkeit. Die Standardkonfiguration umfasst zwei MFCs (Ar und O₂), erweiterbar auf drei MFCs für flexible Gaskombinationen, sowie sechs Standard-Arbeitsschalen, die individuell an verschiedene Teilegrößen und Produktionsanforderungen angepasst werden können.
| Plasma-Haupteinheit | Abmessungen (L*B*H) | 930 x 765 x 1750 mm |
| Kammer (L*B*H) (anpassbar) | 515*400*510mm | |
| Plasma-Stromversorgung | Plasma-Stromversorgung | 13,56 MHz / 40 kHz (opt.) |
| Nennleistung | 1000 W | |
| Kontrollsystem | Steuerungsmethode (SPS) | Siemens – SIMATIC HMI Smart 700 IE V5 |
| Anzeige | 7-Zoll-Touchscreen | |
| Vakuumsystem | Kammermaterial | Aluminiumlegierung |
| Kammerleckrate | > 15 Pa/s | |
| Ultimativer Staubsauger | < 5 Pa/s | |
| Prozessschichten (anpassbar) | 6 Stück (Drahtgeflecht) | |
| Entlüftungszeit | ≤ 10s | |
| Pumpabschaltzeit | ≤ 80er Jahre | |
| Vakuumpumpe | 60 m³/h | |
| Pumpentyp | Ölgedichtete Pumpe oder Trockenpumpe (optional) | |
| Gassystem | Prozessgas-Durchflussbereich | 0-300 SCCM |
| Prozessgasleitungen | Standard (Ar/O₂) mit 2 MFCs Optional (N₂/H₂/He) mit 3 MFCs | |
| Anforderungen an die Einrichtung | Geräte-Stromversorgung | 380 V, 50 Hz, 5-adrig |
| Gerätegasquelle (Luftzufuhr) | ≥ 0,4 MPa | |
| Geräteleistung | 4,5 kW | |
| Betriebsumgebung | 0 °C – 50 °C |
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