Руководство по процессу очистки полупроводников
Очистка полупроводников удаляет загрязнения, обеспечивая отсутствие дефектов на пластинах. Цель — удалить органические остатки, частицы и оксиды, не повреждая материал. Как традиционные химические вещества, так и новые плазменные технологии позволяют эффективно очищать пластины. Почему очистка полупроводников так важна? Загрязнения представляют собой серьёзную угрозу для производства полупроводников. Пыль, химикаты для обработки и остатки материалов оставляют […]
