دليل عملية تنظيف أشباه الموصلات
يزيل تنظيف أشباه الموصلات الملوثات لضمان خلو الرقائق من العيوب. الهدف هو إزالة البقايا العضوية والجسيمات والأكاسيد دون إتلاف المادة. يمكن للمواد الكيميائية التقليدية وتقنيات البلازما الحديثة تنظيف الرقائق بفعالية. ما الذي يجعل تنظيف أشباه الموصلات بالغ الأهمية؟ يُعد التلوث تهديدًا خطيرًا لتصنيع أشباه الموصلات. فالغبار ومواد المعالجة الكيميائية والبقايا المتبقية جميعها تترك [...]
