¿Cómo se limpian las obleas de silicio?

Las obleas de silicio se limpian mediante baños químicos húmedos o tecnología de plasma. La limpieza húmeda utiliza disolventes y ácidos en varias etapas, mientras que la limpieza por plasma utiliza gases energizados en cámaras de vacío para un tratamiento superficial preciso y libre de contaminación. ¿Por qué es importante la limpieza de las obleas de silicio? La limpieza de las obleas de silicio elimina diversos tipos de contaminantes que amenazan la integridad del dispositivo, entre ellos: La fabricación moderna dedica 30-40% […]