Tấm silicon được làm sạch như thế nào?
Tấm wafer silicon được làm sạch bằng phương pháp ngâm hóa chất ướt hoặc công nghệ plasma. Làm sạch ướt sử dụng dung môi và axit theo nhiều bước, trong khi làm sạch plasma sử dụng khí được nạp điện trong buồng chân không để xử lý bề mặt chính xác, không gây ô nhiễm. Tại sao việc làm sạch wafer silicon lại quan trọng? Làm sạch wafer silicon xử lý nhiều loại tạp chất gây ảnh hưởng đến tính toàn vẹn của thiết bị, bao gồm: Chế tạo hiện đại dành riêng 30-40% […]
