| 1. Kontrollierte und schonende Plasmaausgabe | Die 500-W-Plasmaleistung sorgt für eine stabile und gleichmäßige Behandlung und ist daher ideal für empfindliche Bauteile und präzise Oberflächenmodifikationen. |
|---|---|
| 2. Präzise Gasmischfähigkeit | Mit standardmäßig 2 MFCs (Ar und O₂) und optionaler Erweiterung auf 3 MFCs ermöglicht das System eine präzise Gasflusskontrolle und flexible Prozessentwicklung. |
| 3. Zuverlässige Siemens-SPS-Steuerung | Die integrierte Siemens-SPS gewährleistet eine gleichbleibende Prozesswiederholbarkeit, eine einfache Rezeptspeicherung und eine benutzerfreundliche Bedienung sowohl in der Forschung und Entwicklung als auch in der Produktion. |
| 4. Kompaktes Design mit effizienter Stellfläche | Die Kammergröße von 60 Litern bietet ausreichend Kapazität für die Verarbeitung kleiner bis mittlerer Chargen und ermöglicht gleichzeitig eine platzsparende Installation in Laboren oder industriellen Produktionslinien. |
Das 60-Liter-Vakuum-Plasma-Behandlungssystem VL-60-A ist eine kompakte und vielseitige Lösung für die präzise Oberflächenreinigung, -aktivierung und -modifizierung. Angetrieben von einem stabilen 500-W-Plasmagenerator, ermöglicht es eine gleichmäßige und kontrollierte Plasmabehandlung, die sich ideal für empfindliche und hochwertige Bauteile eignet. Das System verfügt über eine Siemens-SPS-Steuerung für zuverlässigen Betrieb, intuitive Parametereinstellung und reproduzierbares Prozessmanagement. Ausgestattet mit standardmäßig zwei MFCs (Ar und O₂) und optional bis zu drei MFCs bietet es eine flexible Gaskonfiguration für unterschiedlichste Prozessanforderungen.
| Plasma-Haupteinheit | Abmessungen (L*B*H) | 930 x 765 x 1750 mm |
| Kammer (L*B*H) (anpassbar) | 400 x 400 x 410 mm | |
| Plasma-Stromversorgung | Plasma-Stromversorgung | 13,56 MHz / 40 kHz (opt.) |
| Nennleistung | 500 W | |
| Kontrollsystem | Steuerungsmethode (SPS) | Siemens – SIMATIC HMI Smart 700 IE V5 |
| Anzeige | 7-Zoll-Touchscreen | |
| Vakuumsystem | Kammermaterial | Aluminiumlegierung |
| Kammerleckrate | > 15 Pa/s | |
| Ultimativer Staubsauger | < 5 Pa/s | |
| Prozessschichten (anpassbar) | 6 Stück (Drahtgeflecht) | |
| Entlüftungszeit | ≤ 8s | |
| Pumpabschaltzeit | ≤ 50 Sekunden | |
| Vakuumpumpe | 60 m³/h | |
| Pumpentyp | Ölgedichtete Pumpe oder Trockenpumpe (optional) | |
| Gassystem | Prozessgas-Durchflussbereich | 0-300 SCCM |
| Prozessgasleitungen | Standard (Ar/O₂) mit 2 MFCs Optional (N₂/H₂/He) mit 3 MFCs | |
| Anforderungen an die Einrichtung | Geräte-Stromversorgung | 380 V, 50 Hz, 5-adrig |
| Gerätegasquelle (Luftzufuhr) | ≥ 0,4 MPa | |
| Geräteleistung | 4,5 kW | |
| Betriebsumgebung | 0 °C – 50 °C |
Schicken Sie uns eine Nachricht!
Unsere Systemexperten helfen Ihnen gerne weiter.
Unsere Systemexperten helfen Ihnen gerne weiter.
