Sản phẩm & Dịch vụ

VL-80-A

Thông tin bổ sung

1. Hiệu quả quy trình cao	Công suất plasma 1000W đảm bảo tạo ra plasma mạnh mẽ, ổn định để kích hoạt bề mặt, làm sạch và phủ lớp nhanh chóng, giảm thời gian chu kỳ trong khi vẫn duy trì kết quả nhất quán.
2. Kiểm soát khí chính xác	Được trang bị 2 bộ điều khiển lưu lượng khí (MFC) tiêu chuẩn (Ar và O₂) và tùy chọn nâng cấp lên đến 3 MFC, hệ thống này cho phép trộn khí chính xác và tối ưu hóa quy trình cho các yêu cầu vật liệu đa dạng.
3. Điều khiển thông minh và đáng tin cậy	Hệ thống PLC của Siemens cung cấp khả năng vận hành ổn định, điều khiển thông số chính xác, lưu trữ công thức và dễ dàng tích hợp vào các dây chuyền sản xuất tự động.
4. Kích thước buồng nhỏ gọn nhưng đa năng	Buồng chân không 80 lít mang lại sự cân bằng lý tưởng giữa dung tích và kích thước, phù hợp cho nghiên cứu và phát triển, sản xuất theo lô nhỏ và các ứng dụng công nghiệp quy mô vừa.

Tổng quan

Hệ thống xử lý plasma chân không 80 lít VL-80-A là một giải pháp nhỏ gọn và hiệu quả được thiết kế cho các quy trình kích hoạt bề mặt, làm sạch và phủ chức năng chính xác. Được trang bị máy phát plasma mạnh mẽ 1000W, hệ thống đảm bảo phóng điện plasma ổn định và kết quả xử lý đồng nhất trên nhiều loại vật liệu. Hệ thống được điều khiển bởi PLC Siemens đáng tin cậy, giúp vận hành trực quan, ổn định quy trình và dễ dàng quản lý thông số. Cấu hình tiêu chuẩn bao gồm hai bộ điều khiển lưu lượng khối (Ar và O₂), với tùy chọn tùy chỉnh tối đa ba bộ điều khiển lưu lượng khối để tăng tính linh hoạt của quy trình và ứng dụng hỗn hợp khí tiên tiến.

Thông số kỹ thuật

Đơn vị chính Plasma	Kích thước (DàiRộngCao)	9307651750mm
Đơn vị chính Plasma	Buồng (DàiRộngCao) (có thể tùy chỉnh)	515400410mm
Nguồn điện Plasma	Nguồn điện Plasma	13,56MHz / 40kHz (tùy chọn)
Nguồn điện Plasma	Công suất định mức	1000W
Hệ thống điều khiển	Phương pháp điều khiển (PLC)	Siemens – SIMATIC HMI Smart 700 IE V5
Hệ thống điều khiển	Trưng bày	Màn hình cảm ứng 7 inch
Hệ thống chân không	Vật liệu buồng	Hợp kim nhôm
	Tốc độ rò rỉ buồng	> 15Pa/s
	Máy hút bụi tối thượng	< 5Pa/s
	Các lớp quy trình (có thể tùy chỉnh)	6 cái (Lưới thép)
	Thời gian xả stress	≤ 10 giây
	Thời gian bơm xả	≤ 60 giây
	Máy bơm chân không	60 m³/h
	Loại bơm	Bơm kín dầu hoặc bơm khô (tùy chọn)
Hệ thống khí	Phạm vi lưu lượng khí quy trình	0-300SCCM
Hệ thống khí	Đường ống dẫn khí công nghiệp	Tiêu chuẩn (Ar/O₂) với 2 MFC Tùy chọn (N₂/H₂/He) với 3 MFC
Yêu cầu về cơ sở vật chất	Nguồn cấp điện cho thiết bị	380V 50Hz, 5 dây
	Nguồn khí cung cấp cho thiết bị (Nguồn cung cấp không khí)	≥ 0,4 MPa
	Nguồn điện thiết bị	4,5kW
	Môi trường hoạt động	0°C – 50°C

VL-80-A

Thông tin bổ sung

Thông số kỹ thuật

Ứng dụng

Sản phẩm liên quan

Danh mục sản phẩm