| 1. Hohe Prozesseffizienz | Die 1000-W-Plasmaleistung gewährleistet eine starke und stabile Plasmaerzeugung für eine schnelle Oberflächenaktivierung, Reinigung und Beschichtung, wodurch die Zykluszeiten verkürzt und gleichzeitig gleichbleibende Ergebnisse erzielt werden. |
|---|---|
| 2. Präzise Gasregelung | Ausgestattet mit standardmäßig 2 MFCs (Ar und O₂) und optionaler Anpassung auf bis zu 3 MFCs ermöglicht das System eine präzise Gasmischung und Prozessoptimierung für unterschiedliche Materialanforderungen. |
| 3. Zuverlässige und intelligente Steuerung | Das Siemens SPS-System bietet stabilen Betrieb, präzise Parametersteuerung, Rezeptspeicherung und einfache Integration in automatisierte Produktionslinien. |
| 4. Kompakte und dennoch vielseitige Kammergröße | Die 80-Liter-Vakuumkammer bietet ein ideales Verhältnis zwischen Kapazität und Platzbedarf und eignet sich daher für Forschung und Entwicklung, Kleinserienfertigung und industrielle Anwendungen im mittleren Maßstab. |
Das 80-Liter-Vakuum-Plasma-Behandlungssystem VL-80-A ist eine kompakte und effiziente Lösung für präzise Oberflächenaktivierung, Reinigung und funktionelle Beschichtungsprozesse. Ausgestattet mit einem leistungsstarken 1000-W-Plasmagenerator gewährleistet es eine stabile Plasmaentladung und gleichmäßige Behandlungsergebnisse für eine Vielzahl von Materialien. Das System wird von einer zuverlässigen Siemens-SPS gesteuert, die eine intuitive Bedienung, Prozessstabilität und einfache Parameterverwaltung ermöglicht. Zur Standardkonfiguration gehören zwei Massenflussregler (Ar und O₂), optional können bis zu drei MFCs für mehr Prozessflexibilität und die Anwendung komplexer Gasmischungen hinzugefügt werden.
| Plasma-Haupteinheit | Abmessungen (L*B*H) | 930 x 765 x 1750 mm |
| Kammer (L*B*H) (anpassbar) | 515*400*410 mm | |
| Plasma-Stromversorgung | Plasma-Stromversorgung | 13,56 MHz / 40 kHz (opt.) |
| Nennleistung | 1000 W | |
| Kontrollsystem | Steuerungsmethode (SPS) | Siemens – SIMATIC HMI Smart 700 IE V5 |
| Anzeige | 7-Zoll-Touchscreen | |
| Vakuumsystem | Kammermaterial | Aluminiumlegierung |
| Kammerleckrate | > 15 Pa/s | |
| Ultimativer Staubsauger | < 5 Pa/s | |
| Prozessschichten (anpassbar) | 6 Stück (Drahtgeflecht) | |
| Entlüftungszeit | ≤ 10s | |
| Pumpabschaltzeit | ≤ 60er Jahre | |
| Vakuumpumpe | 60 m³/h | |
| Pumpentyp | Ölgedichtete Pumpe oder Trockenpumpe (optional) | |
| Gassystem | Prozessgas-Durchflussbereich | 0-300 SCCM |
| Prozessgasleitungen | Standard (Ar/O₂) mit 2 MFCs Optional (N₂/H₂/He) mit 3 MFCs | |
| Anforderungen an die Einrichtung | Geräte-Stromversorgung | 380 V, 50 Hz, 5-adrig |
| Gerätegasquelle (Luftzufuhr) | ≥ 0,4 MPa | |
| Geräteleistung | 4,5 kW | |
| Betriebsumgebung | 0 °C – 50 °C |
Schicken Sie uns eine Nachricht!
Unsere Systemexperten helfen Ihnen gerne weiter.
Unsere Systemexperten helfen Ihnen gerne weiter.
