![\"\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441](\"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/anisotropic-etching-process.png\")
<\/figure>\n<\/div>\n\n\n\u042d\u0442\u043e\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0430\u043d\u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0433\u0430\u0440\u0430\u043d\u0442\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u044f\u0442\u0441\u044f \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043d\u0443\u0436\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438, \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438 \u043e\u0441\u0442\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u0442\u0440\u043e\u043d\u0443\u0442\u044b\u043c\u0438, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0434\u043b\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432.<\/p>\n\n\n\n
\u0422\u0438\u043f\u044b \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (RIE)<\/h2>\n\n\n\n
\u0421\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b RIE, \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0433\u043b\u0443\u0431\u0438\u043d\u0443, \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439.<\/p>\n\n\n\n
1. \u0421\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (RIE)<\/h3>\n\n\n\n\n- \u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0443 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0433\u043e \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0430\u0437\u044b \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n\n\n\n
- \u041e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0443\u044e \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n
![\"\u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430](\"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/cleaning-and-activating-a-surface-1024x703.png\")
<\/figure>\n<\/div>\n\n\n2. \u0413\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (DRIE)<\/h3>\n\n\n\n\n- \u0414\u043b\u044f \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f RIE.<\/li>\n\n\n\n
- \u0427\u0430\u0441\u0442\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u041c\u042d\u041c\u0421 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n
3. \u0422\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0438\u043d\u0434\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e-\u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b (\u0418\u0421\u041f)<\/h3>\n\n\n\n\n- \u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u0438\u043d\u0434\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e-\u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u0443\u044e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0443 (\u0418\u0421\u041f) \u0434\u043b\u044f \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/li>\n\n\n\n
- \u041e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0443\u044e \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0443\u044e \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0447\u0435\u043c \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0439 RIE.<\/li>\n\n\n\n
- \u0418\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043b\u0441\u0442\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0432 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n
\u0412 \u0447\u0435\u043c \u0440\u0430\u0437\u043d\u0438\u0446\u0430 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 DRIE \u0438 RIE?<\/h2>\n\n\n\n\u041e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/strong><\/td>\u0420\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (RIE)<\/strong><\/td>\u0413\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (DRIE)<\/strong><\/td><\/tr>\u0413\u043b\u0443\u0431\u0438\u043d\u0430 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/td> \u041e\u0442 \u043c\u0435\u043b\u043a\u043e\u0433\u043e \u0434\u043e \u0443\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e<\/td> \u0413\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0439, \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d<\/td><\/tr> \u0422\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td> \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439<\/td> \u041e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439<\/td><\/tr> \u041f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b<\/td> \u0423\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439<\/td> \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439 (\u0443\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 ICP)<\/td><\/tr> \u0421\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td> \u041f\u043e\u043c\u0435\u0434\u043b\u0435\u043d\u043d\u0435\u0435<\/td> \u0411\u044b\u0441\u0442\u0440\u0435\u0435<\/td><\/tr> \u041f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f<\/td> \u041f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0438, \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438<\/td> \u041c\u042d\u041c\u0421, \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u043b\u044e\u0438\u0434\u0438\u043a\u0430, 3D-\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n\u0412 \u0442\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043a\u0430\u043a RIE \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a, DRIE \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435, \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 Bosch \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0431\u043e\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043e\u043a.<\/p>\n\n\n\n
\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (RIE)<\/h2>\n\n\n\n
RIE \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u044f\u0445, \u0433\u0434\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430.<\/p>\n\n\n\n
1. \u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432<\/h3>\n\n\n\n
\u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u0445\u0435\u043c \u0438 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432; \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0438 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432.<\/p>\n\n\n\n
2. \u041c\u042d\u041c\u0421 \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438<\/h3>\n\n\n\n
\u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c (\u041c\u042d\u041c\u0421), \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438, \u0430\u043a\u0441\u0435\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u043b\u044e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/p>\n\n\n\n
3. \u041e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0430 \u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430<\/h3>\n\n\n\n
\u0422\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b, \u0432\u043e\u043b\u043d\u043e\u0432\u043e\u0434\u044b \u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b.<\/p>\n\n\n\n
4. \u0411\u0438\u043e\u043c\u0435\u0434\u0438\u0446\u0438\u043d\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430<\/h3>\n\n\n\n
\u0421\u043e\u0437\u0434\u0430\u0435\u0442 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u043d\u044b\u0435 \u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u00ab\u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0447\u0438\u043f\u0435\u00bb \u0438 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0431\u0438\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0437\u043e\u043d\u0434\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n\n\n\n
\u0425\u0438\u043c\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 RIE: \u0447\u0442\u043e \u044d\u0442\u043e \u0442\u0430\u043a\u043e\u0435?<\/h2>\n\n\n\n
\u0425\u0438\u043c\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 RIE \u2014 \u044d\u0442\u043e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u043e\u0432, \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u0438 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0441 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0434\u043e \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. <\/p>\n\n\n\n
\u0412\u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u044d\u0442\u0438 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442 \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u0443\u044e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0443 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0435\u0436\u0435\u043b\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432.<\/p>\n\n\n\n
\n- \u041e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c<\/strong> \u2013 \u041e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n\n\n\n
- \u041e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/strong> \u2013 \u0423\u0434\u0430\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u0438, \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0448\u0438\u0435\u0441\u044f \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n\n\n\n
- \u0428\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n
\u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430 RIE \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445.<\/p>\n\n\n\n
\u0420\u043e\u043b\u044c \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438 \u0432 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c RIE<\/h2>\n\n\n\n
\u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 RIE \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u043c\u0438 \u0433\u0430\u0437\u0430\u043c\u0438, \u0432\u043b\u0438\u044f\u044e\u0449\u0438\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u044f.<\/p>\n\n\n\n
\n- \u0413\u0430\u0437\u044b \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0444\u0442\u043e\u0440\u0430 (CF\u2084, SF\u2086)<\/strong> \u2013 \u0418\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n\n\n\n
- \u0413\u0430\u0437\u044b \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0445\u043b\u043e\u0440\u0430 (Cl\u2082, BCl\u2083)<\/strong> \u2013 \u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0439 \u0438 \u043c\u0435\u0434\u044c.<\/li>\n\n\n\n
- \u041a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f (O\u2082) \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0430<\/strong> \u2013 \u0423\u0434\u0430\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442 \u0438 \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u0438.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n
\u0422\u0449\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440 \u0433\u0430\u0437\u0430 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0441\u0432\u043e\u0434\u044f \u043a \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0443\u043c\u0443 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b \u043f\u0440\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435.<\/p>\n\n\n\n
\u041f\u043b\u044e\u0441\u044b \u0438 \u043c\u0438\u043d\u0443\u0441\u044b \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (RIE)<\/h2>\n\n\n\n\u041f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430<\/strong><\/td>\u041e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f<\/strong><\/td><\/tr>\u2714 \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u2013 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435.<\/td> \u2718 \u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u0432\u043b\u0430\u0436\u043d\u044b\u043c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c, RIE \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438.<\/td><\/tr> \u2714 \u0410\u043d\u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u2013 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0447\u0435\u0442\u043a\u0438\u0435, \u0447\u0435\u0442\u043a\u043e \u043e\u0447\u0435\u0440\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0431\u043e\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438.<\/td> \u2718 \u0421\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u2013 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u044b \u0438 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0440\u0430\u0434\u0438\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438.<\/td><\/tr> \u2714 \u0423\u043d\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438 \u2013 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0442\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439, \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b, \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u044b \u0438 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0443.<\/td> \u2718 \u041f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0439. \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438\u043e\u043d\u044b \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0434\u0438\u0442\u044c \u0434\u0435\u043b\u0438\u043a\u0430\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b.<\/td><\/tr> \u2714 \u0423\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u2013 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u0438\u0435 \u0438 \u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/td> <\/td><\/tr> \u2714 \u041c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u2013 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/td> <\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n\u0411\u0443\u0434\u0443\u0449\u0435\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (RIE) \u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/h2>\n\n\n\n
\u0414\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 RIE \u0438 ICP \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u0432\u0438\u0436\u0443\u0449\u0435\u0439 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0439 \u0443\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u0445, \u043a\u0432\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0432\u044b\u0447\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442:<\/p>\n\n\n
\n![\"\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438](\"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/Plasma-cleaning-1024x703.png\")
<\/figure>\n<\/div>\n\n\n\n- \u0410\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (ALE)<\/strong> \u2013 \u0412\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442 RIE \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0434\u043e \u0441\u0443\u0431\u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430.<\/li>\n\n\n\n
- \u0413\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/strong> \u2013 \u0421\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u0435\u0442 RIE \u0441 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u044b\u043c \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c (ALD) \u0434\u043b\u044f \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0430.<\/li>\n\n\n\n
- \u041e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b, \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0418\u0418<\/strong> \u2013 \u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0431\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c\u0438 \u0432 \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u0438 \u0441\u043e\u043a\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n
\u041f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 RIE \u0438 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0430\u044f RIE \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u043f\u043e-\u043f\u0440\u0435\u0436\u043d\u0435\u043c\u0443 \u0438\u0433\u0440\u0430\u0442\u044c \u0432\u0430\u0436\u043d\u0443\u044e \u0440\u043e\u043b\u044c \u0432 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043a\u0442\u043d\u044b\u0445, \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u044b\u0445 \u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n\n\n\n
FAQ: \u043e\u0431\u0449\u0438\u0435 \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u044b \u043e RIE<\/h2>\n\n\n\n1. \u041a\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c RIE?<\/h3>\n\n\n\n
RIE \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0442\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439, \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b, \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u044b \u0438 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0443. \u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438 \u0433\u0430\u0437\u0430 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0438 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n\n\n\n
2. \u0427\u0435\u043c RIE \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u0432\u043b\u0430\u0436\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f?<\/h3>\n\n\n\n
RIE \u2014 \u044d\u0442\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0441\u0443\u0445\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0443 \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430, \u0442\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043a\u0430\u043a \u0432\u043b\u0430\u0436\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u044b. RIE \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0443\u044e \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0430\u043d\u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0438\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438.<\/p>\n\n\n\n
3. \u041f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 RIE \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0435\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432?<\/h3>\n\n\n\n
RIE \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u0443\u044e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0443 \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0430 \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0430\u0445, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b, \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b \u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 MEMS. \u041e\u043d \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u043d\u0435\u0434\u043e\u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0432\u0441\u0442\u0440\u0435\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0432\u043b\u0430\u0436\u043d\u043e\u043c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438.<\/p>\n\n\n\n
4. \u041c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043b\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c RIE \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f 3D-\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440?<\/h3>\n\n\n\n
\u0414\u0430, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0441 Deep RIE (DRIE), \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0442\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d, \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u0435 \u0434\u043b\u044f MEMS \u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u043b\u044e\u0438\u0434\u0438\u043a\u0438. \u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 Bosch \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n\n\n\n
5. \u041a\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u044b \u0432\u043b\u0438\u044f\u044e\u0442 \u043d\u0430 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0420\u0418\u0422?<\/h3>\n\n\n\n
\u0421\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u0442 \u043e\u0442 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438 \u0433\u0430\u0437\u0430, \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b, \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0412\u0427. \u041e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u044d\u0442\u0438\u0445 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438.<\/p>\n\n\n\n
\u0417\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435: \u043f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 RIE \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u0445<\/h2>\n\n\n\n
\u0420\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (RIE) \u2014 \u044d\u0442\u043e \u0432\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u041c\u042d\u041c\u0421 \u0438 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432. <\/p>\n\n\n\n
\u0415\u0433\u043e \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e \u043d\u0435\u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u0438\u043c\u044b\u043c \u0432 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435, \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0435 \u0438 \u0431\u0438\u043e\u043c\u0435\u0434\u0438\u0446\u0438\u043d\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u0438\u0438.<\/p>\n\n\n\n
\u041f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f RIE \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0438\u0442 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u043c \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0439 \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n\n\n\n
<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"
Reactive Ion Etching (RIE) is a plasma-based process used to precisely etch materials in microfabrication, utilizing chemically reactive ions to remove targeted areas from a substrate. It is widely used in semiconductor manufacturing, MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems), and nanotechnology due to its high precision and control over material removal. Read on to learn more. How Does […]<\/p>\n","protected":false},"author":3,"featured_media":4348,"comment_status":"closed","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[92],"tags":[],"class_list":["post-4333","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-plasma-etching"],"yoast_head":"\n
What is Reactive Ion Etching (RIE)? | KeyLink<\/title>\n<meta name=\"description\" content=\"Discover how reactive ion etching enhances microfabrication efficiency with KeyLink. Learn its applications and advantages\u2014click to explore now!\" \/>\n<meta name=\"robots\" content=\"index, follow, max-snippet:-1, max-image-preview:large, max-video-preview:-1\" \/>\n<link rel=\"canonical\" href=\"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/\" \/>\n<meta property=\"og:locale\" content=\"ru_RU\" \/>\n<meta property=\"og:type\" content=\"article\" \/>\n<meta property=\"og:title\" content=\"What is Reactive Ion Etching (RIE)? | KeyLink\" \/>\n<meta property=\"og:description\" content=\"Discover how reactive ion etching enhances microfabrication efficiency with KeyLink. Learn its applications and advantages\u2014click to explore now!\" \/>\n<meta property=\"og:url\" content=\"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/\" \/>\n<meta property=\"og:site_name\" content=\"KeyLink\" \/>\n<meta property=\"article:publisher\" content=\"https:\/\/www.facebook.com\/keylinktech\/\" \/>\n<meta property=\"article:published_time\" content=\"2025-02-26T09:43:12+00:00\" \/>\n<meta property=\"article:modified_time\" content=\"2025-04-15T09:59:15+00:00\" \/>\n<meta property=\"og:image\" content=\"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:width\" content=\"2048\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:height\" content=\"1365\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:type\" content=\"image\/jpeg\" \/>\n<meta name=\"author\" content=\"keylink\" \/>\n<meta name=\"twitter:card\" content=\"summary_large_image\" \/>\n<meta name=\"twitter:label1\" content=\"\u041d\u0430\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u043e \u0430\u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data1\" content=\"keylink\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:label2\" content=\"\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0434\u043b\u044f \u0447\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data2\" content=\"6 \u043c\u0438\u043d\u0443\u0442\" \/>\n<script type=\"application\/ld+json\" class=\"yoast-schema-graph\">{\"@context\":\"https:\\\/\\\/schema.org\",\"@graph\":[{\"@type\":\"Article\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#article\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/\"},\"author\":{\"name\":\"keylink\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#\\\/schema\\\/person\\\/49a9d14effdf9a61c82c1dd0bbc61745\"},\"headline\":\"What is Reactive Ion Etching (RIE)?\",\"datePublished\":\"2025-02-26T09:43:12+00:00\",\"dateModified\":\"2025-04-15T09:59:15+00:00\",\"mainEntityOfPage\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/\"},\"wordCount\":996,\"publisher\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#organization\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#primaryimage\"},\"thumbnailUrl\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2025\\\/02\\\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg\",\"articleSection\":[\"Plasma Etching\"],\"inLanguage\":\"ru-RU\"},{\"@type\":\"WebPage\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/\",\"url\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/\",\"name\":\"What is Reactive Ion Etching (RIE)? | KeyLink\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#website\"},\"primaryImageOfPage\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#primaryimage\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#primaryimage\"},\"thumbnailUrl\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2025\\\/02\\\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg\",\"datePublished\":\"2025-02-26T09:43:12+00:00\",\"dateModified\":\"2025-04-15T09:59:15+00:00\",\"description\":\"Discover how reactive ion etching enhances microfabrication efficiency with KeyLink. Learn its applications and advantages\u2014click to explore now!\",\"breadcrumb\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#breadcrumb\"},\"inLanguage\":\"ru-RU\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"ReadAction\",\"target\":[\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/\"]}]},{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"ru-RU\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#primaryimage\",\"url\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2025\\\/02\\\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg\",\"contentUrl\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2025\\\/02\\\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg\",\"width\":2048,\"height\":1365,\"caption\":\"Image of nanotechnology manufacturing where reactive ion etching is used\"},{\"@type\":\"BreadcrumbList\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#breadcrumb\",\"itemListElement\":[{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":1,\"name\":\"Home\",\"item\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/\"},{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":2,\"name\":\"What is Reactive Ion Etching (RIE)?\"}]},{\"@type\":\"WebSite\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#website\",\"url\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/\",\"name\":\"Plasma Surface Treatment Machine Manufacturer - KeyLink\",\"description\":\"my wordpress blog\",\"publisher\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#organization\"},\"alternateName\":\"KeyLink\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"SearchAction\",\"target\":{\"@type\":\"EntryPoint\",\"urlTemplate\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/?s={search_term_string}\"},\"query-input\":{\"@type\":\"PropertyValueSpecification\",\"valueRequired\":true,\"valueName\":\"search_term_string\"}}],\"inLanguage\":\"ru-RU\"},{\"@type\":\"Organization\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#organization\",\"name\":\"KeyLink\",\"alternateName\":\"KeyLink\",\"url\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/\",\"logo\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"ru-RU\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#\\\/schema\\\/logo\\\/image\\\/\",\"url\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2024\\\/09\\\/keylink-logo.jpg\",\"contentUrl\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2024\\\/09\\\/keylink-logo.jpg\",\"width\":125,\"height\":52,\"caption\":\"KeyLink\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#\\\/schema\\\/logo\\\/image\\\/\"},\"sameAs\":[\"https:\\\/\\\/www.facebook.com\\\/keylinktech\\\/\"]},{\"@type\":\"Person\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#\\\/schema\\\/person\\\/49a9d14effdf9a61c82c1dd0bbc61745\",\"name\":\"keylink\",\"image\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"ru-RU\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/secure.gravatar.com\\\/avatar\\\/8c2363f567f33045a49c8fde3ff3cb991b6cd896bec00faccb98b4cc63fb6185?s=96&d=mm&r=g\",\"url\":\"https:\\\/\\\/secure.gravatar.com\\\/avatar\\\/8c2363f567f33045a49c8fde3ff3cb991b6cd896bec00faccb98b4cc63fb6185?s=96&d=mm&r=g\",\"contentUrl\":\"https:\\\/\\\/secure.gravatar.com\\\/avatar\\\/8c2363f567f33045a49c8fde3ff3cb991b6cd896bec00faccb98b4cc63fb6185?s=96&d=mm&r=g\",\"caption\":\"keylink\"}}]}<\/script>\n<!-- \/ Yoast SEO plugin. -->","yoast_head_json":{"title":"\u0427\u0442\u043e \u0442\u0430\u043a\u043e\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (RIE)? | KeyLink","description":"\u0423\u0437\u043d\u0430\u0439\u0442\u0435, \u043a\u0430\u043a \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441 KeyLink. \u0423\u0437\u043d\u0430\u0439\u0442\u0435 \u043e \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445 \u2014 \u043d\u0430\u0436\u043c\u0438\u0442\u0435, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0438\u0437\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u0441\u0435\u0439\u0447\u0430\u0441!","robots":{"index":"index","follow":"follow","max-snippet":"max-snippet:-1","max-image-preview":"max-image-preview:large","max-video-preview":"max-video-preview:-1"},"canonical":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/","og_locale":"ru_RU","og_type":"article","og_title":"What is Reactive Ion Etching (RIE)? | KeyLink","og_description":"Discover how reactive ion etching enhances microfabrication efficiency with KeyLink. Learn its applications and advantages\u2014click to explore now!","og_url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/","og_site_name":"KeyLink","article_publisher":"https:\/\/www.facebook.com\/keylinktech\/","article_published_time":"2025-02-26T09:43:12+00:00","article_modified_time":"2025-04-15T09:59:15+00:00","og_image":[{"width":2048,"height":1365,"url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg","type":"image\/jpeg"}],"author":"keylink","twitter_card":"summary_large_image","twitter_misc":{"\u041d\u0430\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u043e \u0430\u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c":"keylink","\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0434\u043b\u044f \u0447\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f":"6 \u043c\u0438\u043d\u0443\u0442"},"schema":{"@context":"https:\/\/schema.org","@graph":[{"@type":"Article","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#article","isPartOf":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/"},"author":{"name":"keylink","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#\/schema\/person\/49a9d14effdf9a61c82c1dd0bbc61745"},"headline":"What is Reactive Ion Etching (RIE)?","datePublished":"2025-02-26T09:43:12+00:00","dateModified":"2025-04-15T09:59:15+00:00","mainEntityOfPage":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/"},"wordCount":996,"publisher":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#organization"},"image":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#primaryimage"},"thumbnailUrl":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg","articleSection":["Plasma Etching"],"inLanguage":"ru-RU"},{"@type":"WebPage","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/","url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/","name":"\u0427\u0442\u043e \u0442\u0430\u043a\u043e\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (RIE)? | KeyLink","isPartOf":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#website"},"primaryImageOfPage":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#primaryimage"},"image":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#primaryimage"},"thumbnailUrl":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg","datePublished":"2025-02-26T09:43:12+00:00","dateModified":"2025-04-15T09:59:15+00:00","description":"\u0423\u0437\u043d\u0430\u0439\u0442\u0435, \u043a\u0430\u043a \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441 KeyLink. \u0423\u0437\u043d\u0430\u0439\u0442\u0435 \u043e \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445 \u2014 \u043d\u0430\u0436\u043c\u0438\u0442\u0435, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0438\u0437\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u0441\u0435\u0439\u0447\u0430\u0441!","breadcrumb":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#breadcrumb"},"inLanguage":"ru-RU","potentialAction":[{"@type":"ReadAction","target":["https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/"]}]},{"@type":"ImageObject","inLanguage":"ru-RU","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#primaryimage","url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg","contentUrl":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg","width":2048,"height":1365,"caption":"Image of nanotechnology manufacturing where reactive ion etching is used"},{"@type":"BreadcrumbList","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#breadcrumb","itemListElement":[{"@type":"ListItem","position":1,"name":"Home","item":"https:\/\/www.keylinktech.com\/"},{"@type":"ListItem","position":2,"name":"What is Reactive Ion Etching (RIE)?"}]},{"@type":"WebSite","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#website","url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/","name":"\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 - KeyLink","description":"\u043c\u043e\u0439 \u0431\u043b\u043e\u0433 \u043d\u0430 wordpress","publisher":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#organization"},"alternateName":"KeyLink","potentialAction":[{"@type":"SearchAction","target":{"@type":"EntryPoint","urlTemplate":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/?s={search_term_string}"},"query-input":{"@type":"PropertyValueSpecification","valueRequired":true,"valueName":"search_term_string"}}],"inLanguage":"ru-RU"},{"@type":"Organization","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#organization","name":"\u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u0430\u044f \u0441\u0441\u044b\u043b\u043a\u0430","alternateName":"KeyLink","url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/","logo":{"@type":"ImageObject","inLanguage":"ru-RU","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#\/schema\/logo\/image\/","url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2024\/09\/keylink-logo.jpg","contentUrl":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2024\/09\/keylink-logo.jpg","width":125,"height":52,"caption":"KeyLink"},"image":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#\/schema\/logo\/image\/"},"sameAs":["https:\/\/www.facebook.com\/keylinktech\/"]},{"@type":"Person","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#\/schema\/person\/49a9d14effdf9a61c82c1dd0bbc61745","name":"keylink","image":{"@type":"ImageObject","inLanguage":"ru-RU","@id":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/8c2363f567f33045a49c8fde3ff3cb991b6cd896bec00faccb98b4cc63fb6185?s=96&d=mm&r=g","url":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/8c2363f567f33045a49c8fde3ff3cb991b6cd896bec00faccb98b4cc63fb6185?s=96&d=mm&r=g","contentUrl":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/8c2363f567f33045a49c8fde3ff3cb991b6cd896bec00faccb98b4cc63fb6185?s=96&d=mm&r=g","caption":"keylink"}}]}},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/4333","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/users\/3"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=4333"}],"version-history":[{"count":3,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/4333\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":4668,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/4333\/revisions\/4668"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/4348"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=4333"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=4333"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=4333"}],"curies":[{"name":"WP","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}
<\/figure>\n<\/div>\n\n\n2. \u0413\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (DRIE)<\/h3>\n\n\n\n\n- \u0414\u043b\u044f \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f RIE.<\/li>\n\n\n\n
- \u0427\u0430\u0441\u0442\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u041c\u042d\u041c\u0421 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n
3. \u0422\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0438\u043d\u0434\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e-\u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b (\u0418\u0421\u041f)<\/h3>\n\n\n\n\n- \u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u0438\u043d\u0434\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e-\u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u0443\u044e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0443 (\u0418\u0421\u041f) \u0434\u043b\u044f \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/li>\n\n\n\n
- \u041e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0443\u044e \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0443\u044e \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0447\u0435\u043c \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0439 RIE.<\/li>\n\n\n\n
- \u0418\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043b\u0441\u0442\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0432 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n
\u0412 \u0447\u0435\u043c \u0440\u0430\u0437\u043d\u0438\u0446\u0430 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 DRIE \u0438 RIE?<\/h2>\n\n\n\n\u041e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/strong><\/td>\u0420\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (RIE)<\/strong><\/td>\u0413\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (DRIE)<\/strong><\/td><\/tr>\u0413\u043b\u0443\u0431\u0438\u043d\u0430 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/td> \u041e\u0442 \u043c\u0435\u043b\u043a\u043e\u0433\u043e \u0434\u043e \u0443\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e<\/td> \u0413\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0439, \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d<\/td><\/tr> \u0422\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td> \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439<\/td> \u041e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439<\/td><\/tr> \u041f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b<\/td> \u0423\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439<\/td> \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439 (\u0443\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 ICP)<\/td><\/tr> \u0421\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td> \u041f\u043e\u043c\u0435\u0434\u043b\u0435\u043d\u043d\u0435\u0435<\/td> \u0411\u044b\u0441\u0442\u0440\u0435\u0435<\/td><\/tr> \u041f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f<\/td> \u041f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0438, \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438<\/td> \u041c\u042d\u041c\u0421, \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u043b\u044e\u0438\u0434\u0438\u043a\u0430, 3D-\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n\u0412 \u0442\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043a\u0430\u043a RIE \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a, DRIE \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435, \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 Bosch \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0431\u043e\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043e\u043a.<\/p>\n\n\n\n
\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (RIE)<\/h2>\n\n\n\n
RIE \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u044f\u0445, \u0433\u0434\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430.<\/p>\n\n\n\n
1. \u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432<\/h3>\n\n\n\n
\u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u0445\u0435\u043c \u0438 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432; \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0438 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432.<\/p>\n\n\n\n
2. \u041c\u042d\u041c\u0421 \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438<\/h3>\n\n\n\n
\u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c (\u041c\u042d\u041c\u0421), \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438, \u0430\u043a\u0441\u0435\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u043b\u044e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/p>\n\n\n\n
3. \u041e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0430 \u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430<\/h3>\n\n\n\n
\u0422\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b, \u0432\u043e\u043b\u043d\u043e\u0432\u043e\u0434\u044b \u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b.<\/p>\n\n\n\n
4. \u0411\u0438\u043e\u043c\u0435\u0434\u0438\u0446\u0438\u043d\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430<\/h3>\n\n\n\n
\u0421\u043e\u0437\u0434\u0430\u0435\u0442 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u043d\u044b\u0435 \u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u00ab\u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0447\u0438\u043f\u0435\u00bb \u0438 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0431\u0438\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0437\u043e\u043d\u0434\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n\n\n\n
\u0425\u0438\u043c\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 RIE: \u0447\u0442\u043e \u044d\u0442\u043e \u0442\u0430\u043a\u043e\u0435?<\/h2>\n\n\n\n
\u0425\u0438\u043c\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 RIE \u2014 \u044d\u0442\u043e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u043e\u0432, \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u0438 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0441 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0434\u043e \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. <\/p>\n\n\n\n
\u0412\u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u044d\u0442\u0438 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442 \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u0443\u044e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0443 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0435\u0436\u0435\u043b\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432.<\/p>\n\n\n\n
\n- \u041e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c<\/strong> \u2013 \u041e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n\n\n\n
- \u041e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/strong> \u2013 \u0423\u0434\u0430\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u0438, \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0448\u0438\u0435\u0441\u044f \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n\n\n\n
- \u0428\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n
\u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430 RIE \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445.<\/p>\n\n\n\n
\u0420\u043e\u043b\u044c \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438 \u0432 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c RIE<\/h2>\n\n\n\n
\u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 RIE \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u043c\u0438 \u0433\u0430\u0437\u0430\u043c\u0438, \u0432\u043b\u0438\u044f\u044e\u0449\u0438\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u044f.<\/p>\n\n\n\n
\n- \u0413\u0430\u0437\u044b \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0444\u0442\u043e\u0440\u0430 (CF\u2084, SF\u2086)<\/strong> \u2013 \u0418\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n\n\n\n
- \u0413\u0430\u0437\u044b \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0445\u043b\u043e\u0440\u0430 (Cl\u2082, BCl\u2083)<\/strong> \u2013 \u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0439 \u0438 \u043c\u0435\u0434\u044c.<\/li>\n\n\n\n
- \u041a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f (O\u2082) \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0430<\/strong> \u2013 \u0423\u0434\u0430\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442 \u0438 \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u0438.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n
\u0422\u0449\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440 \u0433\u0430\u0437\u0430 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0441\u0432\u043e\u0434\u044f \u043a \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0443\u043c\u0443 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b \u043f\u0440\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435.<\/p>\n\n\n\n
\u041f\u043b\u044e\u0441\u044b \u0438 \u043c\u0438\u043d\u0443\u0441\u044b \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (RIE)<\/h2>\n\n\n\n\u041f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430<\/strong><\/td>\u041e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f<\/strong><\/td><\/tr>\u2714 \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u2013 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435.<\/td> \u2718 \u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u0432\u043b\u0430\u0436\u043d\u044b\u043c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c, RIE \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438.<\/td><\/tr> \u2714 \u0410\u043d\u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u2013 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0447\u0435\u0442\u043a\u0438\u0435, \u0447\u0435\u0442\u043a\u043e \u043e\u0447\u0435\u0440\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0431\u043e\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438.<\/td> \u2718 \u0421\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u2013 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u044b \u0438 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0440\u0430\u0434\u0438\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438.<\/td><\/tr> \u2714 \u0423\u043d\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438 \u2013 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0442\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439, \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b, \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u044b \u0438 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0443.<\/td> \u2718 \u041f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0439. \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438\u043e\u043d\u044b \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0434\u0438\u0442\u044c \u0434\u0435\u043b\u0438\u043a\u0430\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b.<\/td><\/tr> \u2714 \u0423\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u2013 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u0438\u0435 \u0438 \u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/td> <\/td><\/tr> \u2714 \u041c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u2013 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/td> <\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n\u0411\u0443\u0434\u0443\u0449\u0435\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (RIE) \u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/h2>\n\n\n\n
\u0414\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 RIE \u0438 ICP \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u0432\u0438\u0436\u0443\u0449\u0435\u0439 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0439 \u0443\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u0445, \u043a\u0432\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0432\u044b\u0447\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442:<\/p>\n\n\n
\n<\/figure>\n<\/div>\n\n\n\n- \u0410\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (ALE)<\/strong> \u2013 \u0412\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442 RIE \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0434\u043e \u0441\u0443\u0431\u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430.<\/li>\n\n\n\n
- \u0413\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/strong> \u2013 \u0421\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u0435\u0442 RIE \u0441 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u044b\u043c \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c (ALD) \u0434\u043b\u044f \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0430.<\/li>\n\n\n\n
- \u041e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b, \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0418\u0418<\/strong> \u2013 \u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0431\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c\u0438 \u0432 \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u0438 \u0441\u043e\u043a\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n
\u041f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 RIE \u0438 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0430\u044f RIE \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u043f\u043e-\u043f\u0440\u0435\u0436\u043d\u0435\u043c\u0443 \u0438\u0433\u0440\u0430\u0442\u044c \u0432\u0430\u0436\u043d\u0443\u044e \u0440\u043e\u043b\u044c \u0432 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043a\u0442\u043d\u044b\u0445, \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u044b\u0445 \u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n\n\n\n
FAQ: \u043e\u0431\u0449\u0438\u0435 \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u044b \u043e RIE<\/h2>\n\n\n\n1. \u041a\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c RIE?<\/h3>\n\n\n\n
RIE \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0442\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439, \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b, \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u044b \u0438 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0443. \u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438 \u0433\u0430\u0437\u0430 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0438 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n\n\n\n
2. \u0427\u0435\u043c RIE \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u0432\u043b\u0430\u0436\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f?<\/h3>\n\n\n\n
RIE \u2014 \u044d\u0442\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0441\u0443\u0445\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0443 \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430, \u0442\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043a\u0430\u043a \u0432\u043b\u0430\u0436\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u044b. RIE \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0443\u044e \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0430\u043d\u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0438\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438.<\/p>\n\n\n\n
3. \u041f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 RIE \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0435\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432?<\/h3>\n\n\n\n
RIE \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u0443\u044e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0443 \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0430 \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0430\u0445, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b, \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b \u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 MEMS. \u041e\u043d \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u043d\u0435\u0434\u043e\u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0432\u0441\u0442\u0440\u0435\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0432\u043b\u0430\u0436\u043d\u043e\u043c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438.<\/p>\n\n\n\n
4. \u041c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043b\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c RIE \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f 3D-\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440?<\/h3>\n\n\n\n
\u0414\u0430, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0441 Deep RIE (DRIE), \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0442\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d, \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u0435 \u0434\u043b\u044f MEMS \u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u043b\u044e\u0438\u0434\u0438\u043a\u0438. \u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 Bosch \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n\n\n\n
5. \u041a\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u044b \u0432\u043b\u0438\u044f\u044e\u0442 \u043d\u0430 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0420\u0418\u0422?<\/h3>\n\n\n\n
\u0421\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u0442 \u043e\u0442 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438 \u0433\u0430\u0437\u0430, \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b, \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0412\u0427. \u041e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u044d\u0442\u0438\u0445 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438.<\/p>\n\n\n\n
\u0417\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435: \u043f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 RIE \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u0445<\/h2>\n\n\n\n
\u0420\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (RIE) \u2014 \u044d\u0442\u043e \u0432\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u041c\u042d\u041c\u0421 \u0438 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432. <\/p>\n\n\n\n
\u0415\u0433\u043e \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e \u043d\u0435\u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u0438\u043c\u044b\u043c \u0432 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435, \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0435 \u0438 \u0431\u0438\u043e\u043c\u0435\u0434\u0438\u0446\u0438\u043d\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u0438\u0438.<\/p>\n\n\n\n
\u041f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f RIE \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0438\u0442 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u043c \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0439 \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n\n\n\n
<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"
Reactive Ion Etching (RIE) is a plasma-based process used to precisely etch materials in microfabrication, utilizing chemically reactive ions to remove targeted areas from a substrate. It is widely used in semiconductor manufacturing, MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems), and nanotechnology due to its high precision and control over material removal. Read on to learn more. How Does […]<\/p>\n","protected":false},"author":3,"featured_media":4348,"comment_status":"closed","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[92],"tags":[],"class_list":["post-4333","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-plasma-etching"],"yoast_head":"\n
What is Reactive Ion Etching (RIE)? | KeyLink<\/title>\n<meta name=\"description\" content=\"Discover how reactive ion etching enhances microfabrication efficiency with KeyLink. Learn its applications and advantages\u2014click to explore now!\" \/>\n<meta name=\"robots\" content=\"index, follow, max-snippet:-1, max-image-preview:large, max-video-preview:-1\" \/>\n<link rel=\"canonical\" href=\"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/\" \/>\n<meta property=\"og:locale\" content=\"ru_RU\" \/>\n<meta property=\"og:type\" content=\"article\" \/>\n<meta property=\"og:title\" content=\"What is Reactive Ion Etching (RIE)? | KeyLink\" \/>\n<meta property=\"og:description\" content=\"Discover how reactive ion etching enhances microfabrication efficiency with KeyLink. Learn its applications and advantages\u2014click to explore now!\" \/>\n<meta property=\"og:url\" content=\"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/\" \/>\n<meta property=\"og:site_name\" content=\"KeyLink\" \/>\n<meta property=\"article:publisher\" content=\"https:\/\/www.facebook.com\/keylinktech\/\" \/>\n<meta property=\"article:published_time\" content=\"2025-02-26T09:43:12+00:00\" \/>\n<meta property=\"article:modified_time\" content=\"2025-04-15T09:59:15+00:00\" \/>\n<meta property=\"og:image\" content=\"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:width\" content=\"2048\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:height\" content=\"1365\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:type\" content=\"image\/jpeg\" \/>\n<meta name=\"author\" content=\"keylink\" \/>\n<meta name=\"twitter:card\" content=\"summary_large_image\" \/>\n<meta name=\"twitter:label1\" content=\"\u041d\u0430\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u043e \u0430\u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data1\" content=\"keylink\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:label2\" content=\"\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0434\u043b\u044f \u0447\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data2\" content=\"6 \u043c\u0438\u043d\u0443\u0442\" \/>\n<script type=\"application\/ld+json\" class=\"yoast-schema-graph\">{\"@context\":\"https:\\\/\\\/schema.org\",\"@graph\":[{\"@type\":\"Article\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#article\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/\"},\"author\":{\"name\":\"keylink\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#\\\/schema\\\/person\\\/49a9d14effdf9a61c82c1dd0bbc61745\"},\"headline\":\"What is Reactive Ion Etching (RIE)?\",\"datePublished\":\"2025-02-26T09:43:12+00:00\",\"dateModified\":\"2025-04-15T09:59:15+00:00\",\"mainEntityOfPage\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/\"},\"wordCount\":996,\"publisher\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#organization\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#primaryimage\"},\"thumbnailUrl\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2025\\\/02\\\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg\",\"articleSection\":[\"Plasma Etching\"],\"inLanguage\":\"ru-RU\"},{\"@type\":\"WebPage\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/\",\"url\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/\",\"name\":\"What is Reactive Ion Etching (RIE)? | KeyLink\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#website\"},\"primaryImageOfPage\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#primaryimage\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#primaryimage\"},\"thumbnailUrl\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2025\\\/02\\\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg\",\"datePublished\":\"2025-02-26T09:43:12+00:00\",\"dateModified\":\"2025-04-15T09:59:15+00:00\",\"description\":\"Discover how reactive ion etching enhances microfabrication efficiency with KeyLink. Learn its applications and advantages\u2014click to explore now!\",\"breadcrumb\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#breadcrumb\"},\"inLanguage\":\"ru-RU\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"ReadAction\",\"target\":[\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/\"]}]},{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"ru-RU\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#primaryimage\",\"url\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2025\\\/02\\\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg\",\"contentUrl\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2025\\\/02\\\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg\",\"width\":2048,\"height\":1365,\"caption\":\"Image of nanotechnology manufacturing where reactive ion etching is used\"},{\"@type\":\"BreadcrumbList\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#breadcrumb\",\"itemListElement\":[{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":1,\"name\":\"Home\",\"item\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/\"},{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":2,\"name\":\"What is Reactive Ion Etching (RIE)?\"}]},{\"@type\":\"WebSite\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#website\",\"url\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/\",\"name\":\"Plasma Surface Treatment Machine Manufacturer - KeyLink\",\"description\":\"my wordpress blog\",\"publisher\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#organization\"},\"alternateName\":\"KeyLink\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"SearchAction\",\"target\":{\"@type\":\"EntryPoint\",\"urlTemplate\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/?s={search_term_string}\"},\"query-input\":{\"@type\":\"PropertyValueSpecification\",\"valueRequired\":true,\"valueName\":\"search_term_string\"}}],\"inLanguage\":\"ru-RU\"},{\"@type\":\"Organization\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#organization\",\"name\":\"KeyLink\",\"alternateName\":\"KeyLink\",\"url\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/\",\"logo\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"ru-RU\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#\\\/schema\\\/logo\\\/image\\\/\",\"url\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2024\\\/09\\\/keylink-logo.jpg\",\"contentUrl\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2024\\\/09\\\/keylink-logo.jpg\",\"width\":125,\"height\":52,\"caption\":\"KeyLink\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#\\\/schema\\\/logo\\\/image\\\/\"},\"sameAs\":[\"https:\\\/\\\/www.facebook.com\\\/keylinktech\\\/\"]},{\"@type\":\"Person\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#\\\/schema\\\/person\\\/49a9d14effdf9a61c82c1dd0bbc61745\",\"name\":\"keylink\",\"image\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"ru-RU\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/secure.gravatar.com\\\/avatar\\\/8c2363f567f33045a49c8fde3ff3cb991b6cd896bec00faccb98b4cc63fb6185?s=96&d=mm&r=g\",\"url\":\"https:\\\/\\\/secure.gravatar.com\\\/avatar\\\/8c2363f567f33045a49c8fde3ff3cb991b6cd896bec00faccb98b4cc63fb6185?s=96&d=mm&r=g\",\"contentUrl\":\"https:\\\/\\\/secure.gravatar.com\\\/avatar\\\/8c2363f567f33045a49c8fde3ff3cb991b6cd896bec00faccb98b4cc63fb6185?s=96&d=mm&r=g\",\"caption\":\"keylink\"}}]}<\/script>\n<!-- \/ Yoast SEO plugin. -->","yoast_head_json":{"title":"\u0427\u0442\u043e \u0442\u0430\u043a\u043e\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (RIE)? | KeyLink","description":"\u0423\u0437\u043d\u0430\u0439\u0442\u0435, \u043a\u0430\u043a \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441 KeyLink. \u0423\u0437\u043d\u0430\u0439\u0442\u0435 \u043e \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445 \u2014 \u043d\u0430\u0436\u043c\u0438\u0442\u0435, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0438\u0437\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u0441\u0435\u0439\u0447\u0430\u0441!","robots":{"index":"index","follow":"follow","max-snippet":"max-snippet:-1","max-image-preview":"max-image-preview:large","max-video-preview":"max-video-preview:-1"},"canonical":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/","og_locale":"ru_RU","og_type":"article","og_title":"What is Reactive Ion Etching (RIE)? | KeyLink","og_description":"Discover how reactive ion etching enhances microfabrication efficiency with KeyLink. Learn its applications and advantages\u2014click to explore now!","og_url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/","og_site_name":"KeyLink","article_publisher":"https:\/\/www.facebook.com\/keylinktech\/","article_published_time":"2025-02-26T09:43:12+00:00","article_modified_time":"2025-04-15T09:59:15+00:00","og_image":[{"width":2048,"height":1365,"url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg","type":"image\/jpeg"}],"author":"keylink","twitter_card":"summary_large_image","twitter_misc":{"\u041d\u0430\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u043e \u0430\u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c":"keylink","\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0434\u043b\u044f \u0447\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f":"6 \u043c\u0438\u043d\u0443\u0442"},"schema":{"@context":"https:\/\/schema.org","@graph":[{"@type":"Article","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#article","isPartOf":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/"},"author":{"name":"keylink","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#\/schema\/person\/49a9d14effdf9a61c82c1dd0bbc61745"},"headline":"What is Reactive Ion Etching (RIE)?","datePublished":"2025-02-26T09:43:12+00:00","dateModified":"2025-04-15T09:59:15+00:00","mainEntityOfPage":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/"},"wordCount":996,"publisher":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#organization"},"image":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#primaryimage"},"thumbnailUrl":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg","articleSection":["Plasma Etching"],"inLanguage":"ru-RU"},{"@type":"WebPage","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/","url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/","name":"\u0427\u0442\u043e \u0442\u0430\u043a\u043e\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (RIE)? | KeyLink","isPartOf":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#website"},"primaryImageOfPage":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#primaryimage"},"image":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#primaryimage"},"thumbnailUrl":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg","datePublished":"2025-02-26T09:43:12+00:00","dateModified":"2025-04-15T09:59:15+00:00","description":"\u0423\u0437\u043d\u0430\u0439\u0442\u0435, \u043a\u0430\u043a \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441 KeyLink. \u0423\u0437\u043d\u0430\u0439\u0442\u0435 \u043e \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445 \u2014 \u043d\u0430\u0436\u043c\u0438\u0442\u0435, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0438\u0437\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u0441\u0435\u0439\u0447\u0430\u0441!","breadcrumb":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#breadcrumb"},"inLanguage":"ru-RU","potentialAction":[{"@type":"ReadAction","target":["https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/"]}]},{"@type":"ImageObject","inLanguage":"ru-RU","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#primaryimage","url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg","contentUrl":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg","width":2048,"height":1365,"caption":"Image of nanotechnology manufacturing where reactive ion etching is used"},{"@type":"BreadcrumbList","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#breadcrumb","itemListElement":[{"@type":"ListItem","position":1,"name":"Home","item":"https:\/\/www.keylinktech.com\/"},{"@type":"ListItem","position":2,"name":"What is Reactive Ion Etching (RIE)?"}]},{"@type":"WebSite","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#website","url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/","name":"\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 - KeyLink","description":"\u043c\u043e\u0439 \u0431\u043b\u043e\u0433 \u043d\u0430 wordpress","publisher":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#organization"},"alternateName":"KeyLink","potentialAction":[{"@type":"SearchAction","target":{"@type":"EntryPoint","urlTemplate":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/?s={search_term_string}"},"query-input":{"@type":"PropertyValueSpecification","valueRequired":true,"valueName":"search_term_string"}}],"inLanguage":"ru-RU"},{"@type":"Organization","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#organization","name":"\u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u0430\u044f \u0441\u0441\u044b\u043b\u043a\u0430","alternateName":"KeyLink","url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/","logo":{"@type":"ImageObject","inLanguage":"ru-RU","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#\/schema\/logo\/image\/","url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2024\/09\/keylink-logo.jpg","contentUrl":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2024\/09\/keylink-logo.jpg","width":125,"height":52,"caption":"KeyLink"},"image":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#\/schema\/logo\/image\/"},"sameAs":["https:\/\/www.facebook.com\/keylinktech\/"]},{"@type":"Person","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#\/schema\/person\/49a9d14effdf9a61c82c1dd0bbc61745","name":"keylink","image":{"@type":"ImageObject","inLanguage":"ru-RU","@id":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/8c2363f567f33045a49c8fde3ff3cb991b6cd896bec00faccb98b4cc63fb6185?s=96&d=mm&r=g","url":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/8c2363f567f33045a49c8fde3ff3cb991b6cd896bec00faccb98b4cc63fb6185?s=96&d=mm&r=g","contentUrl":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/8c2363f567f33045a49c8fde3ff3cb991b6cd896bec00faccb98b4cc63fb6185?s=96&d=mm&r=g","caption":"keylink"}}]}},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/4333","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/users\/3"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=4333"}],"version-history":[{"count":3,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/4333\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":4668,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/4333\/revisions\/4668"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/4348"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=4333"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=4333"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=4333"}],"curies":[{"name":"WP","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}
3. \u0422\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0438\u043d\u0434\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e-\u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b (\u0418\u0421\u041f)<\/h3>\n\n\n\n\n- \u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u0438\u043d\u0434\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e-\u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u0443\u044e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0443 (\u0418\u0421\u041f) \u0434\u043b\u044f \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/li>\n\n\n\n
- \u041e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0443\u044e \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0443\u044e \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0447\u0435\u043c \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0439 RIE.<\/li>\n\n\n\n
- \u0418\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043b\u0441\u0442\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0432 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n
\u0412 \u0447\u0435\u043c \u0440\u0430\u0437\u043d\u0438\u0446\u0430 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 DRIE \u0438 RIE?<\/h2>\n\n\n\n\u041e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/strong><\/td>\u0420\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (RIE)<\/strong><\/td>\u0413\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (DRIE)<\/strong><\/td><\/tr>\u0413\u043b\u0443\u0431\u0438\u043d\u0430 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/td> \u041e\u0442 \u043c\u0435\u043b\u043a\u043e\u0433\u043e \u0434\u043e \u0443\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e<\/td> \u0413\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0439, \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d<\/td><\/tr> \u0422\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td> \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439<\/td> \u041e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439<\/td><\/tr> \u041f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b<\/td> \u0423\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439<\/td> \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439 (\u0443\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 ICP)<\/td><\/tr> \u0421\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td> \u041f\u043e\u043c\u0435\u0434\u043b\u0435\u043d\u043d\u0435\u0435<\/td> \u0411\u044b\u0441\u0442\u0440\u0435\u0435<\/td><\/tr> \u041f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f<\/td> \u041f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0438, \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438<\/td> \u041c\u042d\u041c\u0421, \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u043b\u044e\u0438\u0434\u0438\u043a\u0430, 3D-\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n\u0412 \u0442\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043a\u0430\u043a RIE \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a, DRIE \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435, \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 Bosch \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0431\u043e\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043e\u043a.<\/p>\n\n\n\n
\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (RIE)<\/h2>\n\n\n\n
RIE \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u044f\u0445, \u0433\u0434\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430.<\/p>\n\n\n\n
1. \u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432<\/h3>\n\n\n\n
\u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u0445\u0435\u043c \u0438 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432; \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0438 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432.<\/p>\n\n\n\n
2. \u041c\u042d\u041c\u0421 \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438<\/h3>\n\n\n\n
\u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c (\u041c\u042d\u041c\u0421), \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438, \u0430\u043a\u0441\u0435\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u043b\u044e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/p>\n\n\n\n
3. \u041e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0430 \u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430<\/h3>\n\n\n\n
\u0422\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b, \u0432\u043e\u043b\u043d\u043e\u0432\u043e\u0434\u044b \u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b.<\/p>\n\n\n\n
4. \u0411\u0438\u043e\u043c\u0435\u0434\u0438\u0446\u0438\u043d\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430<\/h3>\n\n\n\n
\u0421\u043e\u0437\u0434\u0430\u0435\u0442 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u043d\u044b\u0435 \u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u00ab\u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0447\u0438\u043f\u0435\u00bb \u0438 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0431\u0438\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0437\u043e\u043d\u0434\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n\n\n\n
\u0425\u0438\u043c\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 RIE: \u0447\u0442\u043e \u044d\u0442\u043e \u0442\u0430\u043a\u043e\u0435?<\/h2>\n\n\n\n
\u0425\u0438\u043c\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 RIE \u2014 \u044d\u0442\u043e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u043e\u0432, \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u0438 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0441 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0434\u043e \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. <\/p>\n\n\n\n
\u0412\u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u044d\u0442\u0438 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442 \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u0443\u044e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0443 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0435\u0436\u0435\u043b\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432.<\/p>\n\n\n\n
\n- \u041e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c<\/strong> \u2013 \u041e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n\n\n\n
- \u041e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/strong> \u2013 \u0423\u0434\u0430\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u0438, \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0448\u0438\u0435\u0441\u044f \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n\n\n\n
- \u0428\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n
\u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430 RIE \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445.<\/p>\n\n\n\n
\u0420\u043e\u043b\u044c \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438 \u0432 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c RIE<\/h2>\n\n\n\n
\u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 RIE \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u043c\u0438 \u0433\u0430\u0437\u0430\u043c\u0438, \u0432\u043b\u0438\u044f\u044e\u0449\u0438\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u044f.<\/p>\n\n\n\n
\n- \u0413\u0430\u0437\u044b \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0444\u0442\u043e\u0440\u0430 (CF\u2084, SF\u2086)<\/strong> \u2013 \u0418\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n\n\n\n
- \u0413\u0430\u0437\u044b \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0445\u043b\u043e\u0440\u0430 (Cl\u2082, BCl\u2083)<\/strong> \u2013 \u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0439 \u0438 \u043c\u0435\u0434\u044c.<\/li>\n\n\n\n
- \u041a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f (O\u2082) \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0430<\/strong> \u2013 \u0423\u0434\u0430\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442 \u0438 \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u0438.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n
\u0422\u0449\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440 \u0433\u0430\u0437\u0430 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0441\u0432\u043e\u0434\u044f \u043a \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0443\u043c\u0443 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b \u043f\u0440\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435.<\/p>\n\n\n\n
\u041f\u043b\u044e\u0441\u044b \u0438 \u043c\u0438\u043d\u0443\u0441\u044b \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (RIE)<\/h2>\n\n\n\n\u041f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430<\/strong><\/td>\u041e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f<\/strong><\/td><\/tr>\u2714 \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u2013 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435.<\/td> \u2718 \u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u0432\u043b\u0430\u0436\u043d\u044b\u043c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c, RIE \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438.<\/td><\/tr> \u2714 \u0410\u043d\u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u2013 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0447\u0435\u0442\u043a\u0438\u0435, \u0447\u0435\u0442\u043a\u043e \u043e\u0447\u0435\u0440\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0431\u043e\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438.<\/td> \u2718 \u0421\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u2013 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u044b \u0438 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0440\u0430\u0434\u0438\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438.<\/td><\/tr> \u2714 \u0423\u043d\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438 \u2013 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0442\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439, \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b, \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u044b \u0438 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0443.<\/td> \u2718 \u041f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0439. \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438\u043e\u043d\u044b \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0434\u0438\u0442\u044c \u0434\u0435\u043b\u0438\u043a\u0430\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b.<\/td><\/tr> \u2714 \u0423\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u2013 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u0438\u0435 \u0438 \u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/td> <\/td><\/tr> \u2714 \u041c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u2013 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/td> <\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n\u0411\u0443\u0434\u0443\u0449\u0435\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (RIE) \u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/h2>\n\n\n\n
\u0414\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 RIE \u0438 ICP \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u0432\u0438\u0436\u0443\u0449\u0435\u0439 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0439 \u0443\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u0445, \u043a\u0432\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0432\u044b\u0447\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442:<\/p>\n\n\n
\n<\/figure>\n<\/div>\n\n\n\n- \u0410\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (ALE)<\/strong> \u2013 \u0412\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442 RIE \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0434\u043e \u0441\u0443\u0431\u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430.<\/li>\n\n\n\n
- \u0413\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/strong> \u2013 \u0421\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u0435\u0442 RIE \u0441 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u044b\u043c \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c (ALD) \u0434\u043b\u044f \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0430.<\/li>\n\n\n\n
- \u041e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b, \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0418\u0418<\/strong> \u2013 \u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0431\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c\u0438 \u0432 \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u0438 \u0441\u043e\u043a\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n
\u041f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 RIE \u0438 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0430\u044f RIE \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u043f\u043e-\u043f\u0440\u0435\u0436\u043d\u0435\u043c\u0443 \u0438\u0433\u0440\u0430\u0442\u044c \u0432\u0430\u0436\u043d\u0443\u044e \u0440\u043e\u043b\u044c \u0432 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043a\u0442\u043d\u044b\u0445, \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u044b\u0445 \u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n\n\n\n
FAQ: \u043e\u0431\u0449\u0438\u0435 \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u044b \u043e RIE<\/h2>\n\n\n\n1. \u041a\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c RIE?<\/h3>\n\n\n\n
RIE \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0442\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439, \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b, \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u044b \u0438 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0443. \u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438 \u0433\u0430\u0437\u0430 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0438 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n\n\n\n
2. \u0427\u0435\u043c RIE \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u0432\u043b\u0430\u0436\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f?<\/h3>\n\n\n\n
RIE \u2014 \u044d\u0442\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0441\u0443\u0445\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0443 \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430, \u0442\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043a\u0430\u043a \u0432\u043b\u0430\u0436\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u044b. RIE \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0443\u044e \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0430\u043d\u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0438\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438.<\/p>\n\n\n\n
3. \u041f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 RIE \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0435\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432?<\/h3>\n\n\n\n
RIE \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u0443\u044e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0443 \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0430 \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0430\u0445, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b, \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b \u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 MEMS. \u041e\u043d \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u043d\u0435\u0434\u043e\u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0432\u0441\u0442\u0440\u0435\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0432\u043b\u0430\u0436\u043d\u043e\u043c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438.<\/p>\n\n\n\n
4. \u041c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043b\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c RIE \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f 3D-\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440?<\/h3>\n\n\n\n
\u0414\u0430, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0441 Deep RIE (DRIE), \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0442\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d, \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u0435 \u0434\u043b\u044f MEMS \u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u043b\u044e\u0438\u0434\u0438\u043a\u0438. \u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 Bosch \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n\n\n\n
5. \u041a\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u044b \u0432\u043b\u0438\u044f\u044e\u0442 \u043d\u0430 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0420\u0418\u0422?<\/h3>\n\n\n\n
\u0421\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u0442 \u043e\u0442 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438 \u0433\u0430\u0437\u0430, \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b, \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0412\u0427. \u041e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u044d\u0442\u0438\u0445 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438.<\/p>\n\n\n\n
\u0417\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435: \u043f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 RIE \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u0445<\/h2>\n\n\n\n
\u0420\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (RIE) \u2014 \u044d\u0442\u043e \u0432\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u041c\u042d\u041c\u0421 \u0438 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432. <\/p>\n\n\n\n
\u0415\u0433\u043e \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e \u043d\u0435\u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u0438\u043c\u044b\u043c \u0432 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435, \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0435 \u0438 \u0431\u0438\u043e\u043c\u0435\u0434\u0438\u0446\u0438\u043d\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u0438\u0438.<\/p>\n\n\n\n
\u041f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f RIE \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0438\u0442 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u043c \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0439 \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n\n\n\n
<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"
Reactive Ion Etching (RIE) is a plasma-based process used to precisely etch materials in microfabrication, utilizing chemically reactive ions to remove targeted areas from a substrate. It is widely used in semiconductor manufacturing, MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems), and nanotechnology due to its high precision and control over material removal. Read on to learn more. How Does […]<\/p>\n","protected":false},"author":3,"featured_media":4348,"comment_status":"closed","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[92],"tags":[],"class_list":["post-4333","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-plasma-etching"],"yoast_head":"\n
What is Reactive Ion Etching (RIE)? | KeyLink<\/title>\n<meta name=\"description\" content=\"Discover how reactive ion etching enhances microfabrication efficiency with KeyLink. Learn its applications and advantages\u2014click to explore now!\" \/>\n<meta name=\"robots\" content=\"index, follow, max-snippet:-1, max-image-preview:large, max-video-preview:-1\" \/>\n<link rel=\"canonical\" href=\"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/\" \/>\n<meta property=\"og:locale\" content=\"ru_RU\" \/>\n<meta property=\"og:type\" content=\"article\" \/>\n<meta property=\"og:title\" content=\"What is Reactive Ion Etching (RIE)? | KeyLink\" \/>\n<meta property=\"og:description\" content=\"Discover how reactive ion etching enhances microfabrication efficiency with KeyLink. Learn its applications and advantages\u2014click to explore now!\" \/>\n<meta property=\"og:url\" content=\"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/\" \/>\n<meta property=\"og:site_name\" content=\"KeyLink\" \/>\n<meta property=\"article:publisher\" content=\"https:\/\/www.facebook.com\/keylinktech\/\" \/>\n<meta property=\"article:published_time\" content=\"2025-02-26T09:43:12+00:00\" \/>\n<meta property=\"article:modified_time\" content=\"2025-04-15T09:59:15+00:00\" \/>\n<meta property=\"og:image\" content=\"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:width\" content=\"2048\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:height\" content=\"1365\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:type\" content=\"image\/jpeg\" \/>\n<meta name=\"author\" content=\"keylink\" \/>\n<meta name=\"twitter:card\" content=\"summary_large_image\" \/>\n<meta name=\"twitter:label1\" content=\"\u041d\u0430\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u043e \u0430\u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data1\" content=\"keylink\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:label2\" content=\"\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0434\u043b\u044f \u0447\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data2\" content=\"6 \u043c\u0438\u043d\u0443\u0442\" \/>\n<script type=\"application\/ld+json\" class=\"yoast-schema-graph\">{\"@context\":\"https:\\\/\\\/schema.org\",\"@graph\":[{\"@type\":\"Article\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#article\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/\"},\"author\":{\"name\":\"keylink\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#\\\/schema\\\/person\\\/49a9d14effdf9a61c82c1dd0bbc61745\"},\"headline\":\"What is Reactive Ion Etching (RIE)?\",\"datePublished\":\"2025-02-26T09:43:12+00:00\",\"dateModified\":\"2025-04-15T09:59:15+00:00\",\"mainEntityOfPage\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/\"},\"wordCount\":996,\"publisher\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#organization\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#primaryimage\"},\"thumbnailUrl\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2025\\\/02\\\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg\",\"articleSection\":[\"Plasma Etching\"],\"inLanguage\":\"ru-RU\"},{\"@type\":\"WebPage\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/\",\"url\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/\",\"name\":\"What is Reactive Ion Etching (RIE)? | KeyLink\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#website\"},\"primaryImageOfPage\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#primaryimage\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#primaryimage\"},\"thumbnailUrl\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2025\\\/02\\\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg\",\"datePublished\":\"2025-02-26T09:43:12+00:00\",\"dateModified\":\"2025-04-15T09:59:15+00:00\",\"description\":\"Discover how reactive ion etching enhances microfabrication efficiency with KeyLink. Learn its applications and advantages\u2014click to explore now!\",\"breadcrumb\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#breadcrumb\"},\"inLanguage\":\"ru-RU\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"ReadAction\",\"target\":[\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/\"]}]},{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"ru-RU\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#primaryimage\",\"url\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2025\\\/02\\\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg\",\"contentUrl\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2025\\\/02\\\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg\",\"width\":2048,\"height\":1365,\"caption\":\"Image of nanotechnology manufacturing where reactive ion etching is used\"},{\"@type\":\"BreadcrumbList\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#breadcrumb\",\"itemListElement\":[{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":1,\"name\":\"Home\",\"item\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/\"},{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":2,\"name\":\"What is Reactive Ion Etching (RIE)?\"}]},{\"@type\":\"WebSite\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#website\",\"url\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/\",\"name\":\"Plasma Surface Treatment Machine Manufacturer - KeyLink\",\"description\":\"my wordpress blog\",\"publisher\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#organization\"},\"alternateName\":\"KeyLink\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"SearchAction\",\"target\":{\"@type\":\"EntryPoint\",\"urlTemplate\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/?s={search_term_string}\"},\"query-input\":{\"@type\":\"PropertyValueSpecification\",\"valueRequired\":true,\"valueName\":\"search_term_string\"}}],\"inLanguage\":\"ru-RU\"},{\"@type\":\"Organization\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#organization\",\"name\":\"KeyLink\",\"alternateName\":\"KeyLink\",\"url\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/\",\"logo\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"ru-RU\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#\\\/schema\\\/logo\\\/image\\\/\",\"url\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2024\\\/09\\\/keylink-logo.jpg\",\"contentUrl\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2024\\\/09\\\/keylink-logo.jpg\",\"width\":125,\"height\":52,\"caption\":\"KeyLink\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#\\\/schema\\\/logo\\\/image\\\/\"},\"sameAs\":[\"https:\\\/\\\/www.facebook.com\\\/keylinktech\\\/\"]},{\"@type\":\"Person\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#\\\/schema\\\/person\\\/49a9d14effdf9a61c82c1dd0bbc61745\",\"name\":\"keylink\",\"image\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"ru-RU\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/secure.gravatar.com\\\/avatar\\\/8c2363f567f33045a49c8fde3ff3cb991b6cd896bec00faccb98b4cc63fb6185?s=96&d=mm&r=g\",\"url\":\"https:\\\/\\\/secure.gravatar.com\\\/avatar\\\/8c2363f567f33045a49c8fde3ff3cb991b6cd896bec00faccb98b4cc63fb6185?s=96&d=mm&r=g\",\"contentUrl\":\"https:\\\/\\\/secure.gravatar.com\\\/avatar\\\/8c2363f567f33045a49c8fde3ff3cb991b6cd896bec00faccb98b4cc63fb6185?s=96&d=mm&r=g\",\"caption\":\"keylink\"}}]}<\/script>\n<!-- \/ Yoast SEO plugin. -->","yoast_head_json":{"title":"\u0427\u0442\u043e \u0442\u0430\u043a\u043e\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (RIE)? | KeyLink","description":"\u0423\u0437\u043d\u0430\u0439\u0442\u0435, \u043a\u0430\u043a \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441 KeyLink. \u0423\u0437\u043d\u0430\u0439\u0442\u0435 \u043e \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445 \u2014 \u043d\u0430\u0436\u043c\u0438\u0442\u0435, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0438\u0437\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u0441\u0435\u0439\u0447\u0430\u0441!","robots":{"index":"index","follow":"follow","max-snippet":"max-snippet:-1","max-image-preview":"max-image-preview:large","max-video-preview":"max-video-preview:-1"},"canonical":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/","og_locale":"ru_RU","og_type":"article","og_title":"What is Reactive Ion Etching (RIE)? | KeyLink","og_description":"Discover how reactive ion etching enhances microfabrication efficiency with KeyLink. Learn its applications and advantages\u2014click to explore now!","og_url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/","og_site_name":"KeyLink","article_publisher":"https:\/\/www.facebook.com\/keylinktech\/","article_published_time":"2025-02-26T09:43:12+00:00","article_modified_time":"2025-04-15T09:59:15+00:00","og_image":[{"width":2048,"height":1365,"url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg","type":"image\/jpeg"}],"author":"keylink","twitter_card":"summary_large_image","twitter_misc":{"\u041d\u0430\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u043e \u0430\u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c":"keylink","\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0434\u043b\u044f \u0447\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f":"6 \u043c\u0438\u043d\u0443\u0442"},"schema":{"@context":"https:\/\/schema.org","@graph":[{"@type":"Article","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#article","isPartOf":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/"},"author":{"name":"keylink","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#\/schema\/person\/49a9d14effdf9a61c82c1dd0bbc61745"},"headline":"What is Reactive Ion Etching (RIE)?","datePublished":"2025-02-26T09:43:12+00:00","dateModified":"2025-04-15T09:59:15+00:00","mainEntityOfPage":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/"},"wordCount":996,"publisher":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#organization"},"image":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#primaryimage"},"thumbnailUrl":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg","articleSection":["Plasma Etching"],"inLanguage":"ru-RU"},{"@type":"WebPage","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/","url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/","name":"\u0427\u0442\u043e \u0442\u0430\u043a\u043e\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (RIE)? | KeyLink","isPartOf":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#website"},"primaryImageOfPage":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#primaryimage"},"image":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#primaryimage"},"thumbnailUrl":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg","datePublished":"2025-02-26T09:43:12+00:00","dateModified":"2025-04-15T09:59:15+00:00","description":"\u0423\u0437\u043d\u0430\u0439\u0442\u0435, \u043a\u0430\u043a \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441 KeyLink. \u0423\u0437\u043d\u0430\u0439\u0442\u0435 \u043e \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445 \u2014 \u043d\u0430\u0436\u043c\u0438\u0442\u0435, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0438\u0437\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u0441\u0435\u0439\u0447\u0430\u0441!","breadcrumb":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#breadcrumb"},"inLanguage":"ru-RU","potentialAction":[{"@type":"ReadAction","target":["https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/"]}]},{"@type":"ImageObject","inLanguage":"ru-RU","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#primaryimage","url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg","contentUrl":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg","width":2048,"height":1365,"caption":"Image of nanotechnology manufacturing where reactive ion etching is used"},{"@type":"BreadcrumbList","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#breadcrumb","itemListElement":[{"@type":"ListItem","position":1,"name":"Home","item":"https:\/\/www.keylinktech.com\/"},{"@type":"ListItem","position":2,"name":"What is Reactive Ion Etching (RIE)?"}]},{"@type":"WebSite","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#website","url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/","name":"\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 - KeyLink","description":"\u043c\u043e\u0439 \u0431\u043b\u043e\u0433 \u043d\u0430 wordpress","publisher":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#organization"},"alternateName":"KeyLink","potentialAction":[{"@type":"SearchAction","target":{"@type":"EntryPoint","urlTemplate":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/?s={search_term_string}"},"query-input":{"@type":"PropertyValueSpecification","valueRequired":true,"valueName":"search_term_string"}}],"inLanguage":"ru-RU"},{"@type":"Organization","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#organization","name":"\u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u0430\u044f \u0441\u0441\u044b\u043b\u043a\u0430","alternateName":"KeyLink","url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/","logo":{"@type":"ImageObject","inLanguage":"ru-RU","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#\/schema\/logo\/image\/","url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2024\/09\/keylink-logo.jpg","contentUrl":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2024\/09\/keylink-logo.jpg","width":125,"height":52,"caption":"KeyLink"},"image":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#\/schema\/logo\/image\/"},"sameAs":["https:\/\/www.facebook.com\/keylinktech\/"]},{"@type":"Person","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#\/schema\/person\/49a9d14effdf9a61c82c1dd0bbc61745","name":"keylink","image":{"@type":"ImageObject","inLanguage":"ru-RU","@id":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/8c2363f567f33045a49c8fde3ff3cb991b6cd896bec00faccb98b4cc63fb6185?s=96&d=mm&r=g","url":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/8c2363f567f33045a49c8fde3ff3cb991b6cd896bec00faccb98b4cc63fb6185?s=96&d=mm&r=g","contentUrl":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/8c2363f567f33045a49c8fde3ff3cb991b6cd896bec00faccb98b4cc63fb6185?s=96&d=mm&r=g","caption":"keylink"}}]}},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/4333","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/users\/3"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=4333"}],"version-history":[{"count":3,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/4333\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":4668,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/4333\/revisions\/4668"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/4348"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=4333"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=4333"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=4333"}],"curies":[{"name":"WP","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}
\u0412 \u0447\u0435\u043c \u0440\u0430\u0437\u043d\u0438\u0446\u0430 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 DRIE \u0438 RIE?<\/h2>\n\n\n\n\u041e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/strong><\/td>\u0420\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (RIE)<\/strong><\/td>\u0413\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (DRIE)<\/strong><\/td><\/tr>\u0413\u043b\u0443\u0431\u0438\u043d\u0430 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/td> \u041e\u0442 \u043c\u0435\u043b\u043a\u043e\u0433\u043e \u0434\u043e \u0443\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e<\/td> \u0413\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0439, \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d<\/td><\/tr> \u0422\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td> \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439<\/td> \u041e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439<\/td><\/tr> \u041f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b<\/td> \u0423\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439<\/td> \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439 (\u0443\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 ICP)<\/td><\/tr> \u0421\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td> \u041f\u043e\u043c\u0435\u0434\u043b\u0435\u043d\u043d\u0435\u0435<\/td> \u0411\u044b\u0441\u0442\u0440\u0435\u0435<\/td><\/tr> \u041f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f<\/td> \u041f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0438, \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438<\/td> \u041c\u042d\u041c\u0421, \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u043b\u044e\u0438\u0434\u0438\u043a\u0430, 3D-\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n\u0412 \u0442\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043a\u0430\u043a RIE \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a, DRIE \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435, \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 Bosch \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0431\u043e\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043e\u043a.<\/p>\n\n\n\n
\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (RIE)<\/h2>\n\n\n\n
RIE \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u044f\u0445, \u0433\u0434\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430.<\/p>\n\n\n\n
1. \u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432<\/h3>\n\n\n\n
\u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u0445\u0435\u043c \u0438 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432; \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0438 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432.<\/p>\n\n\n\n
2. \u041c\u042d\u041c\u0421 \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438<\/h3>\n\n\n\n
\u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c (\u041c\u042d\u041c\u0421), \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438, \u0430\u043a\u0441\u0435\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u043b\u044e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/p>\n\n\n\n
3. \u041e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0430 \u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430<\/h3>\n\n\n\n
\u0422\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b, \u0432\u043e\u043b\u043d\u043e\u0432\u043e\u0434\u044b \u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b.<\/p>\n\n\n\n
4. \u0411\u0438\u043e\u043c\u0435\u0434\u0438\u0446\u0438\u043d\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430<\/h3>\n\n\n\n
\u0421\u043e\u0437\u0434\u0430\u0435\u0442 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u043d\u044b\u0435 \u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u00ab\u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0447\u0438\u043f\u0435\u00bb \u0438 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0431\u0438\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0437\u043e\u043d\u0434\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n\n\n\n
\u0425\u0438\u043c\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 RIE: \u0447\u0442\u043e \u044d\u0442\u043e \u0442\u0430\u043a\u043e\u0435?<\/h2>\n\n\n\n
\u0425\u0438\u043c\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 RIE \u2014 \u044d\u0442\u043e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u043e\u0432, \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u0438 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0441 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0434\u043e \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. <\/p>\n\n\n\n
\u0412\u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u044d\u0442\u0438 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442 \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u0443\u044e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0443 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0435\u0436\u0435\u043b\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432.<\/p>\n\n\n\n
\n- \u041e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c<\/strong> \u2013 \u041e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n\n\n\n
- \u041e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/strong> \u2013 \u0423\u0434\u0430\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u0438, \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0448\u0438\u0435\u0441\u044f \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n\n\n\n
- \u0428\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n
\u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430 RIE \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445.<\/p>\n\n\n\n
\u0420\u043e\u043b\u044c \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438 \u0432 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c RIE<\/h2>\n\n\n\n
\u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 RIE \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u043c\u0438 \u0433\u0430\u0437\u0430\u043c\u0438, \u0432\u043b\u0438\u044f\u044e\u0449\u0438\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u044f.<\/p>\n\n\n\n
\n- \u0413\u0430\u0437\u044b \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0444\u0442\u043e\u0440\u0430 (CF\u2084, SF\u2086)<\/strong> \u2013 \u0418\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n\n\n\n
- \u0413\u0430\u0437\u044b \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0445\u043b\u043e\u0440\u0430 (Cl\u2082, BCl\u2083)<\/strong> \u2013 \u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0439 \u0438 \u043c\u0435\u0434\u044c.<\/li>\n\n\n\n
- \u041a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f (O\u2082) \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0430<\/strong> \u2013 \u0423\u0434\u0430\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0444\u043e\u0442\u043e\u0440\u0435\u0437\u0438\u0441\u0442 \u0438 \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u0438.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n
\u0422\u0449\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440 \u0433\u0430\u0437\u0430 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0441\u0432\u043e\u0434\u044f \u043a \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0443\u043c\u0443 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b \u043f\u0440\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435.<\/p>\n\n\n\n
\u041f\u043b\u044e\u0441\u044b \u0438 \u043c\u0438\u043d\u0443\u0441\u044b \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (RIE)<\/h2>\n\n\n\n\u041f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430<\/strong><\/td>\u041e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f<\/strong><\/td><\/tr>\u2714 \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u2013 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435.<\/td> \u2718 \u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u0432\u043b\u0430\u0436\u043d\u044b\u043c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c, RIE \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438.<\/td><\/tr> \u2714 \u0410\u043d\u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u2013 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0447\u0435\u0442\u043a\u0438\u0435, \u0447\u0435\u0442\u043a\u043e \u043e\u0447\u0435\u0440\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0431\u043e\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438.<\/td> \u2718 \u0421\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u2013 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u044b \u0438 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0440\u0430\u0434\u0438\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438.<\/td><\/tr> \u2714 \u0423\u043d\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438 \u2013 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0442\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439, \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b, \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u044b \u0438 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0443.<\/td> \u2718 \u041f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0439. \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438\u043e\u043d\u044b \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0434\u0438\u0442\u044c \u0434\u0435\u043b\u0438\u043a\u0430\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b.<\/td><\/tr> \u2714 \u0423\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u2013 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u0438\u0435 \u0438 \u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/td> <\/td><\/tr> \u2714 \u041c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u2013 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/td> <\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n\u0411\u0443\u0434\u0443\u0449\u0435\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (RIE) \u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/h2>\n\n\n\n
\u0414\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 RIE \u0438 ICP \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u0432\u0438\u0436\u0443\u0449\u0435\u0439 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0439 \u0443\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u0445, \u043a\u0432\u0430\u043d\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0432\u044b\u0447\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0430\u0445 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442:<\/p>\n\n\n
\n<\/figure>\n<\/div>\n\n\n\n- \u0410\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (ALE)<\/strong> \u2013 \u0412\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442 RIE \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0434\u043e \u0441\u0443\u0431\u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430.<\/li>\n\n\n\n
- \u0413\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/strong> \u2013 \u0421\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u0435\u0442 RIE \u0441 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u044b\u043c \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c (ALD) \u0434\u043b\u044f \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0430.<\/li>\n\n\n\n
- \u041e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b, \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0418\u0418<\/strong> \u2013 \u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u043c\u0430\u0448\u0438\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0431\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c\u0438 \u0432 \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u0438 \u0441\u043e\u043a\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n
\u041f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 RIE \u0438 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0430\u044f RIE \u0431\u0443\u0434\u0443\u0442 \u043f\u043e-\u043f\u0440\u0435\u0436\u043d\u0435\u043c\u0443 \u0438\u0433\u0440\u0430\u0442\u044c \u0432\u0430\u0436\u043d\u0443\u044e \u0440\u043e\u043b\u044c \u0432 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043a\u0442\u043d\u044b\u0445, \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u044b\u0445 \u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n\n\n\n
FAQ: \u043e\u0431\u0449\u0438\u0435 \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u044b \u043e RIE<\/h2>\n\n\n\n1. \u041a\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c RIE?<\/h3>\n\n\n\n
RIE \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0442\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439, \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b, \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u044b \u0438 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0443. \u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438 \u0433\u0430\u0437\u0430 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0438 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n\n\n\n
2. \u0427\u0435\u043c RIE \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u0432\u043b\u0430\u0436\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f?<\/h3>\n\n\n\n
RIE \u2014 \u044d\u0442\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0441\u0443\u0445\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0443 \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430, \u0442\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043a\u0430\u043a \u0432\u043b\u0430\u0436\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u044b. RIE \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0443\u044e \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0430\u043d\u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0438\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438.<\/p>\n\n\n\n
3. \u041f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 RIE \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0435\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432?<\/h3>\n\n\n\n
RIE \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u0443\u044e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0443 \u0440\u0438\u0441\u0443\u043d\u043a\u0430 \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e- \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0430\u0445, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b, \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b \u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 MEMS. \u041e\u043d \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u043d\u0435\u0434\u043e\u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0432\u0441\u0442\u0440\u0435\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0432\u043b\u0430\u0436\u043d\u043e\u043c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438.<\/p>\n\n\n\n
4. \u041c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043b\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c RIE \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f 3D-\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440?<\/h3>\n\n\n\n
\u0414\u0430, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0441 Deep RIE (DRIE), \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0442\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u044c \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d, \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u0435 \u0434\u043b\u044f MEMS \u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u043b\u044e\u0438\u0434\u0438\u043a\u0438. \u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 Bosch \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n\n\n\n
5. \u041a\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u044b \u0432\u043b\u0438\u044f\u044e\u0442 \u043d\u0430 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0420\u0418\u0422?<\/h3>\n\n\n\n
\u0421\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u0442 \u043e\u0442 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438 \u0433\u0430\u0437\u0430, \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b, \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0412\u0427. \u041e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u044d\u0442\u0438\u0445 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438.<\/p>\n\n\n\n
\u0417\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435: \u043f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 RIE \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u0445<\/h2>\n\n\n\n
\u0420\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (RIE) \u2014 \u044d\u0442\u043e \u0432\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u041c\u042d\u041c\u0421 \u0438 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432. <\/p>\n\n\n\n
\u0415\u0433\u043e \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e \u043d\u0435\u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u0438\u043c\u044b\u043c \u0432 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435, \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0435 \u0438 \u0431\u0438\u043e\u043c\u0435\u0434\u0438\u0446\u0438\u043d\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u0438\u0438.<\/p>\n\n\n\n
\u041f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f RIE \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0438\u0442 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u043c \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0439 \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n\n\n\n
<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"
Reactive Ion Etching (RIE) is a plasma-based process used to precisely etch materials in microfabrication, utilizing chemically reactive ions to remove targeted areas from a substrate. It is widely used in semiconductor manufacturing, MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems), and nanotechnology due to its high precision and control over material removal. Read on to learn more. How Does […]<\/p>\n","protected":false},"author":3,"featured_media":4348,"comment_status":"closed","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[92],"tags":[],"class_list":["post-4333","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-plasma-etching"],"yoast_head":"\n
What is Reactive Ion Etching (RIE)? | KeyLink<\/title>\n<meta name=\"description\" content=\"Discover how reactive ion etching enhances microfabrication efficiency with KeyLink. Learn its applications and advantages\u2014click to explore now!\" \/>\n<meta name=\"robots\" content=\"index, follow, max-snippet:-1, max-image-preview:large, max-video-preview:-1\" \/>\n<link rel=\"canonical\" href=\"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/\" \/>\n<meta property=\"og:locale\" content=\"ru_RU\" \/>\n<meta property=\"og:type\" content=\"article\" \/>\n<meta property=\"og:title\" content=\"What is Reactive Ion Etching (RIE)? | KeyLink\" \/>\n<meta property=\"og:description\" content=\"Discover how reactive ion etching enhances microfabrication efficiency with KeyLink. Learn its applications and advantages\u2014click to explore now!\" \/>\n<meta property=\"og:url\" content=\"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/\" \/>\n<meta property=\"og:site_name\" content=\"KeyLink\" \/>\n<meta property=\"article:publisher\" content=\"https:\/\/www.facebook.com\/keylinktech\/\" \/>\n<meta property=\"article:published_time\" content=\"2025-02-26T09:43:12+00:00\" \/>\n<meta property=\"article:modified_time\" content=\"2025-04-15T09:59:15+00:00\" \/>\n<meta property=\"og:image\" content=\"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:width\" content=\"2048\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:height\" content=\"1365\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:type\" content=\"image\/jpeg\" \/>\n<meta name=\"author\" content=\"keylink\" \/>\n<meta name=\"twitter:card\" content=\"summary_large_image\" \/>\n<meta name=\"twitter:label1\" content=\"\u041d\u0430\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u043e \u0430\u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data1\" content=\"keylink\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:label2\" content=\"\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0434\u043b\u044f \u0447\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data2\" content=\"6 \u043c\u0438\u043d\u0443\u0442\" \/>\n<script type=\"application\/ld+json\" class=\"yoast-schema-graph\">{\"@context\":\"https:\\\/\\\/schema.org\",\"@graph\":[{\"@type\":\"Article\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#article\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/\"},\"author\":{\"name\":\"keylink\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#\\\/schema\\\/person\\\/49a9d14effdf9a61c82c1dd0bbc61745\"},\"headline\":\"What is Reactive Ion Etching (RIE)?\",\"datePublished\":\"2025-02-26T09:43:12+00:00\",\"dateModified\":\"2025-04-15T09:59:15+00:00\",\"mainEntityOfPage\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/\"},\"wordCount\":996,\"publisher\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#organization\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#primaryimage\"},\"thumbnailUrl\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2025\\\/02\\\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg\",\"articleSection\":[\"Plasma Etching\"],\"inLanguage\":\"ru-RU\"},{\"@type\":\"WebPage\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/\",\"url\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/\",\"name\":\"What is Reactive Ion Etching (RIE)? | KeyLink\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#website\"},\"primaryImageOfPage\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#primaryimage\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#primaryimage\"},\"thumbnailUrl\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2025\\\/02\\\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg\",\"datePublished\":\"2025-02-26T09:43:12+00:00\",\"dateModified\":\"2025-04-15T09:59:15+00:00\",\"description\":\"Discover how reactive ion etching enhances microfabrication efficiency with KeyLink. Learn its applications and advantages\u2014click to explore now!\",\"breadcrumb\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#breadcrumb\"},\"inLanguage\":\"ru-RU\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"ReadAction\",\"target\":[\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/\"]}]},{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"ru-RU\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#primaryimage\",\"url\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2025\\\/02\\\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg\",\"contentUrl\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2025\\\/02\\\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg\",\"width\":2048,\"height\":1365,\"caption\":\"Image of nanotechnology manufacturing where reactive ion etching is used\"},{\"@type\":\"BreadcrumbList\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/plasma-surface-technology\\\/process\\\/plasma-etching\\\/reactive-ion-etching\\\/#breadcrumb\",\"itemListElement\":[{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":1,\"name\":\"Home\",\"item\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/\"},{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":2,\"name\":\"What is Reactive Ion Etching (RIE)?\"}]},{\"@type\":\"WebSite\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#website\",\"url\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/\",\"name\":\"Plasma Surface Treatment Machine Manufacturer - KeyLink\",\"description\":\"my wordpress blog\",\"publisher\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#organization\"},\"alternateName\":\"KeyLink\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"SearchAction\",\"target\":{\"@type\":\"EntryPoint\",\"urlTemplate\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/?s={search_term_string}\"},\"query-input\":{\"@type\":\"PropertyValueSpecification\",\"valueRequired\":true,\"valueName\":\"search_term_string\"}}],\"inLanguage\":\"ru-RU\"},{\"@type\":\"Organization\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#organization\",\"name\":\"KeyLink\",\"alternateName\":\"KeyLink\",\"url\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/\",\"logo\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"ru-RU\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#\\\/schema\\\/logo\\\/image\\\/\",\"url\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2024\\\/09\\\/keylink-logo.jpg\",\"contentUrl\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2024\\\/09\\\/keylink-logo.jpg\",\"width\":125,\"height\":52,\"caption\":\"KeyLink\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#\\\/schema\\\/logo\\\/image\\\/\"},\"sameAs\":[\"https:\\\/\\\/www.facebook.com\\\/keylinktech\\\/\"]},{\"@type\":\"Person\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.keylinktech.com\\\/es\\\/#\\\/schema\\\/person\\\/49a9d14effdf9a61c82c1dd0bbc61745\",\"name\":\"keylink\",\"image\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"ru-RU\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/secure.gravatar.com\\\/avatar\\\/8c2363f567f33045a49c8fde3ff3cb991b6cd896bec00faccb98b4cc63fb6185?s=96&d=mm&r=g\",\"url\":\"https:\\\/\\\/secure.gravatar.com\\\/avatar\\\/8c2363f567f33045a49c8fde3ff3cb991b6cd896bec00faccb98b4cc63fb6185?s=96&d=mm&r=g\",\"contentUrl\":\"https:\\\/\\\/secure.gravatar.com\\\/avatar\\\/8c2363f567f33045a49c8fde3ff3cb991b6cd896bec00faccb98b4cc63fb6185?s=96&d=mm&r=g\",\"caption\":\"keylink\"}}]}<\/script>\n<!-- \/ Yoast SEO plugin. -->","yoast_head_json":{"title":"\u0427\u0442\u043e \u0442\u0430\u043a\u043e\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (RIE)? | KeyLink","description":"\u0423\u0437\u043d\u0430\u0439\u0442\u0435, \u043a\u0430\u043a \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441 KeyLink. \u0423\u0437\u043d\u0430\u0439\u0442\u0435 \u043e \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445 \u2014 \u043d\u0430\u0436\u043c\u0438\u0442\u0435, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0438\u0437\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u0441\u0435\u0439\u0447\u0430\u0441!","robots":{"index":"index","follow":"follow","max-snippet":"max-snippet:-1","max-image-preview":"max-image-preview:large","max-video-preview":"max-video-preview:-1"},"canonical":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/","og_locale":"ru_RU","og_type":"article","og_title":"What is Reactive Ion Etching (RIE)? | KeyLink","og_description":"Discover how reactive ion etching enhances microfabrication efficiency with KeyLink. Learn its applications and advantages\u2014click to explore now!","og_url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/","og_site_name":"KeyLink","article_publisher":"https:\/\/www.facebook.com\/keylinktech\/","article_published_time":"2025-02-26T09:43:12+00:00","article_modified_time":"2025-04-15T09:59:15+00:00","og_image":[{"width":2048,"height":1365,"url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg","type":"image\/jpeg"}],"author":"keylink","twitter_card":"summary_large_image","twitter_misc":{"\u041d\u0430\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u043e \u0430\u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c":"keylink","\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0434\u043b\u044f \u0447\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f":"6 \u043c\u0438\u043d\u0443\u0442"},"schema":{"@context":"https:\/\/schema.org","@graph":[{"@type":"Article","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#article","isPartOf":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/"},"author":{"name":"keylink","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#\/schema\/person\/49a9d14effdf9a61c82c1dd0bbc61745"},"headline":"What is Reactive Ion Etching (RIE)?","datePublished":"2025-02-26T09:43:12+00:00","dateModified":"2025-04-15T09:59:15+00:00","mainEntityOfPage":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/"},"wordCount":996,"publisher":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#organization"},"image":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#primaryimage"},"thumbnailUrl":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg","articleSection":["Plasma Etching"],"inLanguage":"ru-RU"},{"@type":"WebPage","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/","url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/","name":"\u0427\u0442\u043e \u0442\u0430\u043a\u043e\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (RIE)? | KeyLink","isPartOf":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#website"},"primaryImageOfPage":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#primaryimage"},"image":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#primaryimage"},"thumbnailUrl":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg","datePublished":"2025-02-26T09:43:12+00:00","dateModified":"2025-04-15T09:59:15+00:00","description":"\u0423\u0437\u043d\u0430\u0439\u0442\u0435, \u043a\u0430\u043a \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441 KeyLink. \u0423\u0437\u043d\u0430\u0439\u0442\u0435 \u043e \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445 \u2014 \u043d\u0430\u0436\u043c\u0438\u0442\u0435, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0438\u0437\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u0441\u0435\u0439\u0447\u0430\u0441!","breadcrumb":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#breadcrumb"},"inLanguage":"ru-RU","potentialAction":[{"@type":"ReadAction","target":["https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/"]}]},{"@type":"ImageObject","inLanguage":"ru-RU","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#primaryimage","url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg","contentUrl":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/Image-of-nanotechnology-manufacturing-where-reactive-ion-etching-is-used.jpg","width":2048,"height":1365,"caption":"Image of nanotechnology manufacturing where reactive ion etching is used"},{"@type":"BreadcrumbList","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/plasma-surface-technology\/process\/plasma-etching\/reactive-ion-etching\/#breadcrumb","itemListElement":[{"@type":"ListItem","position":1,"name":"Home","item":"https:\/\/www.keylinktech.com\/"},{"@type":"ListItem","position":2,"name":"What is Reactive Ion Etching (RIE)?"}]},{"@type":"WebSite","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#website","url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/","name":"\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 - KeyLink","description":"\u043c\u043e\u0439 \u0431\u043b\u043e\u0433 \u043d\u0430 wordpress","publisher":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#organization"},"alternateName":"KeyLink","potentialAction":[{"@type":"SearchAction","target":{"@type":"EntryPoint","urlTemplate":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/?s={search_term_string}"},"query-input":{"@type":"PropertyValueSpecification","valueRequired":true,"valueName":"search_term_string"}}],"inLanguage":"ru-RU"},{"@type":"Organization","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#organization","name":"\u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u0430\u044f \u0441\u0441\u044b\u043b\u043a\u0430","alternateName":"KeyLink","url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/","logo":{"@type":"ImageObject","inLanguage":"ru-RU","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#\/schema\/logo\/image\/","url":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2024\/09\/keylink-logo.jpg","contentUrl":"https:\/\/www.keylinktech.com\/wp-content\/uploads\/2024\/09\/keylink-logo.jpg","width":125,"height":52,"caption":"KeyLink"},"image":{"@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#\/schema\/logo\/image\/"},"sameAs":["https:\/\/www.facebook.com\/keylinktech\/"]},{"@type":"Person","@id":"https:\/\/www.keylinktech.com\/es\/#\/schema\/person\/49a9d14effdf9a61c82c1dd0bbc61745","name":"keylink","image":{"@type":"ImageObject","inLanguage":"ru-RU","@id":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/8c2363f567f33045a49c8fde3ff3cb991b6cd896bec00faccb98b4cc63fb6185?s=96&d=mm&r=g","url":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/8c2363f567f33045a49c8fde3ff3cb991b6cd896bec00faccb98b4cc63fb6185?s=96&d=mm&r=g","contentUrl":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/8c2363f567f33045a49c8fde3ff3cb991b6cd896bec00faccb98b4cc63fb6185?s=96&d=mm&r=g","caption":"keylink"}}]}},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/4333","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/users\/3"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=4333"}],"version-history":[{"count":3,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/4333\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":4668,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/4333\/revisions\/4668"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/4348"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=4333"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=4333"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.keylinktech.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=4333"}],"curies":[{"name":"WP","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}
\u041e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/strong><\/td>| \u0420\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (RIE)<\/strong><\/td> | \u0413\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 (DRIE)<\/strong><\/td><\/tr> | \u0413\u043b\u0443\u0431\u0438\u043d\u0430 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/td> | \u041e\u0442 \u043c\u0435\u043b\u043a\u043e\u0433\u043e \u0434\u043e \u0443\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e<\/td> | \u0413\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0439, \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d<\/td><\/tr> | \u0422\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td> | \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439<\/td> | \u041e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439<\/td><\/tr> | \u041f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b<\/td> | \u0423\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439<\/td> | \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439 (\u0443\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 ICP)<\/td><\/tr> | \u0421\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td> | \u041f\u043e\u043c\u0435\u0434\u043b\u0435\u043d\u043d\u0435\u0435<\/td> | \u0411\u044b\u0441\u0442\u0440\u0435\u0435<\/td><\/tr> | \u041f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f<\/td> | \u041f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u0438, \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438<\/td> | \u041c\u042d\u041c\u0421, \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u043b\u044e\u0438\u0434\u0438\u043a\u0430, 3D-\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n | \u0412 \u0442\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043a\u0430\u043a RIE \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a, DRIE \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435, \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 Bosch \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0431\u043e\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043e\u043a.<\/p>\n\n\n\n \u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (RIE)<\/h2>\n\n\n\nRIE \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u044f\u0445, \u0433\u0434\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430.<\/p>\n\n\n\n 1. \u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432<\/h3>\n\n\n\n\u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u0445\u0435\u043c \u0438 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432; \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0438 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432.<\/p>\n\n\n\n 2. \u041c\u042d\u041c\u0421 \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438<\/h3>\n\n\n\n\u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c (\u041c\u042d\u041c\u0421), \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438, \u0430\u043a\u0441\u0435\u043b\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0444\u043b\u044e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/p>\n\n\n\n 3. \u041e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0430 \u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430<\/h3>\n\n\n\n\u0422\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b, \u0432\u043e\u043b\u043d\u043e\u0432\u043e\u0434\u044b \u0438 \u0444\u043e\u0442\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b.<\/p>\n\n\n\n 4. \u0411\u0438\u043e\u043c\u0435\u0434\u0438\u0446\u0438\u043d\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430<\/h3>\n\n\n\n\u0421\u043e\u0437\u0434\u0430\u0435\u0442 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u043d\u044b\u0435 \u0448\u0430\u0431\u043b\u043e\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u00ab\u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0447\u0438\u043f\u0435\u00bb \u0438 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0431\u0438\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0437\u043e\u043d\u0434\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n\n\n\n \u0425\u0438\u043c\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 RIE: \u0447\u0442\u043e \u044d\u0442\u043e \u0442\u0430\u043a\u043e\u0435?<\/h2>\n\n\n\n\u0425\u0438\u043c\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 RIE \u2014 \u044d\u0442\u043e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u043e\u0432, \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u0438 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0441 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0434\u043e \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. <\/p>\n\n\n\n \u0412\u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u044d\u0442\u0438 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442 \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u0443\u044e \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0443 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0435\u0436\u0435\u043b\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432.<\/p>\n\n\n\n
|